تجهیزات د مخکینۍ دروازې عمودی جوړښت او د کلستر ترتیب غوره کوي.دا د فلزاتو او مختلف عضوي موادو لپاره د تبخیر سرچینو سره مجهز کیدی شي ، او کولی شي د مختلف مشخصاتو سیلیکون ویفرونه تبخیر کړي.د دقیق سمون سیسټم سره سمبال شوی، کوټ باثباته دی او کوټ ښه تکرار وړتیا لري.
د GX600 کوټینګ تجهیزات کولی شي په سمه توګه، مساوي او د کنټرول وړ عضوي رڼا جذبونکي مواد یا فلزي مواد په سبسټریټ کې تبخیر کړي.دا د ساده فلم جوړونې ګټې لري، لوړ پاکوالی او لوړ کمپیکٹیت.د بشپړ اتومات فلم ضخامت ریښتیني وخت نظارت سیسټم کولی شي د پروسې تکرار او ثبات ډاډمن کړي.دا د ځان خټکي فعالیت سره مجهز دی ترڅو د آپریټر مهارتونو پورې تړاو کم کړي.
تجهیزات په Cu، Al، Co، Cr، Au، Ag، Ni، Ti او نورو فلزي موادو کې پلي کیدی شي، او د فلزي فلم، ډایالټریک پرت فلم، IMD فلم، او داسې نور سره پوښل کیدی شي. دا په عمده توګه په سیمیکمډکټر کې کارول کیږي. صنعت، لکه د بریښنا وسایل، د سیمی کنډکټر شاته بسته بندي سبسټریټ کوټینګ، او داسې نور.
GX600 | GX900 |
φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |