① د فلم ضخامت ښه کنټرول او تکرار وړتیا
ایا د فلم ضخامت په مخکې ټاکل شوي ارزښت کې کنټرول کیدی شي د فلم ضخامت کنټرول وړتیا بلل کیږي.د اړین فلم ضخامت د څو ځله لپاره تکرار کیدی شي، کوم چې د فلم موټی د تکرار وړتیا په نوم یادیږي. ځکه چې د ویکیوم سپټرینګ کوټینګ د خارجي جریان او هدف جریان په جلا توګه کنټرول کیدی شي.له همدې امله، د سپک شوي فلم ضخامت د کنټرول وړ دی، او فلم د مخکې ټاکل شوي ضخامت سره په معتبر ډول زیرمه کیدی شي.برسېره پردې، د سپټر پوښ کولی شي په لوی سطح کې د یونیفورم ضخامت سره یو فلم ترلاسه کړي.
② د فلم او سبسټریټ تر مینځ قوي چپکونکی
د ټوټو اتومونو انرژي د تبخیر شوي اتومونو په پرتله د 1-2 امرونو اندازه لوړه ده.په سبسټریټ کې زیرمه شوي د لوړې انرژي سپټر شوي اتومونو انرژي تبادله د تبخیر شوي اتومونو په پرتله خورا لوړه ده ، کوم چې لوړه تودوخه تولیدوي او د سپوټر شوي اتومونو او سبسټریټ ترمینځ چپکتیا ته وده ورکوي.برسېره پر دې، ځینې د لوړې انرژی سپوټر شوي اتومونه د انجیکشن مختلف درجې تولیدوي، په سبسټریټ کې د pseudodiffusion طبقه جوړوي.برسېره پردې، سبسټریټ تل د پلازما په سیمه کې د فلم جوړونې پروسې په جریان کې پاک او فعال کیږي، کوم چې د ضعیف چپکولو سره سپټټرینګ اتومونه لیرې کوي، او د سبسټریټ سطح پاکوي او فعالوي.له همدې امله، سپک شوی فلم د سبسټریټ لپاره قوي چپکونکی لري.
③ نوي مواد فلم د هدف څخه مختلف چمتو کیدی شي
که عکس العمل ګاز د تودوخې په جریان کې معرفي شي ترڅو د هدف سره عکس العمل رامینځته کړي ، نو یو نوی مادي فلم ترلاسه کیدی شي چې له هدف څخه په بشپړ ډول توپیر لري.د مثال په توګه، سیلیکون د تودوخې هدف په توګه کارول کیږي، او اکسیجن او ارګون په ګډه د خلا چیمبر کې اچول کیږي.د تودوخې وروسته، د SiOz موصل فلم ترلاسه کیدی شي.د ټایټینیم په کارولو سره د سپټرینګ هدف په توګه ، نایټروجن او ارګون په ګډه د خلا چیمبر کې اچول کیږي ، او مرحله د TiN سرو زرو په څیر فلم د سپټر کولو وروسته ترلاسه کیدی شي.
④ لوړ پاکوالی او د فلم ښه کیفیت
څرنګه چې د سپټرینګ فلم چمتو کولو وسیلې کې هیڅ کروسیبل برخه شتون نلري ، نو د کریسبل هیټر موادو اجزا به د سپټرینګ فلم پرت کې نه مخلوط کیږي.د سپټرینګ کوټینګ زیانونه دا دي چې د فلم جوړولو سرعت د تبخیر کوټینګ په پرتله ورو دی ، د سبسټریټ تودوخې لوړه ده ، د ناپاک ګاز لخوا اغیزمن کیدل اسانه دي ، او د وسیلې جوړښت خورا پیچلی دی.
دا مقاله د ګوانګډونګ ژینوا لخوا خپره شوې ، د تولید کونکيد ویکیوم کوټینګ تجهیزات
د پوسټ وخت: مارچ 09-2023