د ګرم تار آرک لوړ شوی پلازما کیمیاوي بخار جمع کولو ټیکنالوژي د آرک پلازما خارجولو لپاره د ګرم تار آرک ټوپک کاروي ، چې د ګرم تار آرک PECVD ټیکنالوژۍ په توګه لنډیز شوی.دا ټیکنالوژي د ګرم تار آرک گن آئن کوټینګ ټیکنالوژۍ ته ورته ده ، مګر توپیر یې دا دی چې د ګرم تار آرک گن آئن کوټینګ لخوا ترلاسه شوی جامد فلم د تودوخې تار آرک ټوپک لخوا خارج شوي آرک رڼا الکترون جریان کاروي ترڅو فلز تودوخه کړي او تبخیر کړي. crucible، پداسې حال کې چې د ګرم تار آرک رڼا PECVD د عکس العمل ګازونو سره تغذیه کیږي، لکه CH4 او H2، چې د الماس فلمونو زیرمه کولو لپاره کارول کیږي.د لوړ کثافت آرک ډیسچارج اوسني باندې تکیه کولو سره چې د ګرم تار آرک ټوپک لخوا خارج کیږي ، عکس العمل ګاز ایونونه د مختلف فعال ذرات ترلاسه کولو لپاره لیواله دي ، پشمول د ګاز ایونونه ، اټومي آئنونه ، فعال ګروپونه او داسې نور.
د ګرم تار آرک PECVD وسیلې کې ، دوه بریښنایی مقناطیسي کویلونه لاهم د کوټینګ خونې څخه بهر نصب شوي ، د لوړ کثافت بریښنایی جریان لامل کیږي چې د انود په لور د حرکت په جریان کې څرخیږي ، د بریښنایی جریان او عکس العمل ګاز ترمینځ د ټکر او ionization احتمال زیاتوي. .الکترومقناطیسي کویل هم کولی شي د آرک کالم سره یو ځای شي ترڅو د ټول جمع کولو چیمبر پلازما کثافت زیات کړي.په آرک پلازما کې، د دې فعالو ذراتو کثافت لوړ دی، چې د الماس فلمونه او نور فلم پرتونه په ورک پیس کې ساتل اسانه کوي.
—— دا مقاله د ګوانګډونګ ژینوا ټیکنالوژۍ لخوا خپره شوې ، aد نظری کوټینګ ماشینونو جوړونکی.
د پوسټ وخت: می-05-2023