د پلازما مستقیم پولیمیریزیشن پروسه

د پلازما مستقیم پولیمیریزیشن پروسه

د پلازما پولیمیریزیشن پروسه د دواړو داخلي الکترود پولیمیریزیشن تجهیزاتو او خارجي الکترود پولیمرائزیشن تجهیزاتو لپاره نسبتا ساده ده، مګر د پلازما پولیمرائزیشن کې د پیرامیټرونو انتخاب خورا مهم دی، ځکه چې پیرامیټرونه د پلازما پولیمرائزیشن په جریان کې د پولیمر فلمونو جوړښت او فعالیت باندې ډیر اغیز لري.

د مستقیم پلازما پولیمر کولو لپاره د عملیاتو مرحلې په لاندې ډول دي:

(1) خالي کول

د ویکیوم شرایطو لاندې د پولیمرائزیشن شالید خلا باید 1.3 × 10-1Pa ته پمپ شي.د پولیمرائزیشن تعاملاتو لپاره چې د اکسیجن یا نایتروجن مینځپانګې کنټرول لپاره ځانګړي اړتیاو ته اړتیا لري ، د شالید خلا اړتیا حتی لوړه ده.

(2) د چارج غبرګون مونومر یا د کیریر ګاز او مونومر مخلوط ګاز

د خلا درجه 13-130Pa ده.د پلازما پولیمرائزیشن لپاره چې کار ته اړتیا لري، مناسب جریان کنټرول حالت او د جریان اندازه باید وټاکل شي، په عمومي ډول 10.100mL/min.په پلازما کې، مونومر مالیکولونه د انرژیکي ذراتو په بمبارۍ سره ionized او جلا کیږي، چې په پایله کې فعال ذرات لکه آیونونه او فعال جینونه رامینځته کیږي.د پلازما لخوا فعال شوي فعال ذرات کولی شي د ګاز مرحلې او جامد مرحلې په انٹرفیس کې د پلازما پولیمیریزیشن څخه تیر شي.مونومر د پلازما پولیمیریزیشن لپاره د مخکینۍ سرچینه ده، او د ان پټ غبرګون ګاز او مونومر باید یو څه پاکوالی ولري.

(3) د excitation بریښنا رسولو انتخاب

پلازما د پولیمرائزیشن لپاره د پلازما چاپیریال چمتو کولو لپاره د DC ، لوړې فریکونسۍ ، RF یا مایکرو ویو بریښنا سرچینو په کارولو سره تولید کیدی شي.د بریښنا رسولو انتخاب د پولیمر جوړښت او فعالیت اړتیاو پراساس ټاکل کیږي.

(4) د اخراج حالت انتخاب

د پولیمر اړتیاو لپاره، د پلازما پولیمرائزیشن کولی شي دوه د خارج کولو طریقې غوره کړي: دوامداره خارج یا د نبض خارج کول.

(5) د اخراج پیرامیټونو انتخاب

کله چې د پلازما پولیمرائزیشن ترسره کول، د خارج کولو پیرامیټرې باید د پلازما پیرامیټونو، پولیمر ملکیتونو او جوړښت اړتیاو څخه په پام کې ونیول شي.د پولیمرائزیشن په جریان کې د پلي شوي بریښنا اندازه د ویکیوم چیمبر حجم ، د الیکټروډ اندازه ، د مونومر جریان نرخ او جوړښت ، د پولیمرائزیشن نرخ ، او د پولیمر جوړښت او فعالیت لخوا ټاکل کیږي.د مثال په توګه، که د عکس العمل چیمبر حجم 1L وي او د RF پلازما پولیمرائزیشن اختیار شوی وي، د خارج کیدو ځواک به د 10 ~ 30W په حد کې وي.په داسې شرایطو کې، تولید شوي پلازما کولی شي د ورک پیس په سطحه یو پتلی فلم جوړ کړي.د پلازما پولیمرائزیشن فلم د ودې کچه د بریښنا رسولو، د مونومر ډول او جریان کچه، او د پروسې شرایطو سره توپیر لري.عموما، د ودې کچه 100nm/min ~ 1um/min ده.

(6) د پلازما پولیمرائزیشن کې د پیرامیټر اندازه کول

د پلازما پیرامیټرې او د پروسې پیرامیټرې چې د پلازما پولیمرائزیشن کې اندازه کیږي عبارت دي له: د خارج کیدو ولټاژ ، د خارج کیدو جریان ، د خارج کیدو فریکونسۍ ، د بریښنایی تودوخې ، کثافت ، د عکس العمل ګروپ ډول او غلظت ، او داسې نور.

—— دا مقاله د ګوانګډونګ ژینوا ټیکنالوژۍ لخوا خپره شوې ، aد نظری کوټینګ ماشینونو جوړونکی.