1. د بمبارۍ پاکولو سبسټریټ
1.1) د سپټرینګ کوټینګ ماشین د سبسټریټ پاکولو لپاره د ګلو ډیسچارج کاروي.د دې معنی دا ده چې د ارګون ګاز په چیمبر کې چارج کړئ، د خارج کولو ولتاژ شاوخوا 1000V دی، د بریښنا رسولو په فعالولو سره، یو ګلو خارج کیږي، او سبسټریټ د ارګون ایون بمبارۍ لخوا پاکیږي.
1.2) د سپټرینګ کوټینګ ماشینونو کې چې په صنعتي ډول د لوړ پای زیورات تولیدوي ، د وړو آرک سرچینو لخوا خارج شوي ټایټینیم آئنونه اکثرا د پاکولو لپاره کارول کیږي.د سپټرینګ کوټینګ ماشین د کوچني آرک سرچینې سره مجهز دی ، او د آرک پلازما کې د ټایټانیوم آئن جریان د کوچني آرک سرچینې خارج کیدو لخوا رامینځته شوی د سبسټریټ بمبارۍ او پاکولو لپاره کارول کیږي.
2. د Titanium نايټرايډ کوټ کول
کله چې د ټایټانیوم نایټرایډ پتلي فلمونه زیرمه کړئ ، د سپټټر کولو هدف لرونکي توکي د ټایټینیم هدف دی.هدف مواد د سپټرینګ بریښنا رسولو منفي الکترود سره وصل دی، او هدف ولتاژ 400 ~ 500V دی؛د ارګون فلکس ثابت شوی، او د کنټرول خلا (3 ~ 8) x10 دی-1PA.سبسټریټ د 100 ~ 200V ولتاژ سره د تعصب بریښنا رسولو منفي الکترود سره وصل دی.
د سپټرینګ ټایټانیوم هدف د بریښنا رسولو بدلولو وروسته ، یو روښانه خارج کیږي ، او د لوړې انرژي ارګون آیونونه د سپټرینګ هدف بمباري کوي ، له هدف څخه د ټایټینیم اتومونه سپکوي.
د عکس العمل ګاز نایټروجن معرفي کیږي، او د ټایټانیوم اتومونه او نایټروجن د کوټ کولو په خونه کې د ټایټینیم آئنونو او نایتروجن آئنونو ته ایونیز شوي.د منفي تعصب بریښنایی ساحې د جذب لاندې چې په سبسټریټ باندې پلي کیږي ، د ټایټانیوم آئنونه او نایټروجن آئنونه د کیمیاوي تعامل او زیرمه کولو لپاره د سبسټریټ سطح ته ګړندي کوي ترڅو د ټایټانیوم نایټرایډ فلم پرت رامینځته کړي.
3. سبسټریټ لرې کړئ
د مخکې ټاکل شوي فلم ضخامت ته رسیدو وروسته ، د سپټرینګ بریښنا رسولو ، د سبسټریټ تعصب بریښنا رسولو او د هوا سرچینه بنده کړئ.وروسته له دې چې د سبسټریټ تودوخه د 120 ℃ څخه ټیټه وي ، د کوټینګ چیمبر له هوا ډک کړئ او سبسټریټ وباسئ.
دا مقاله د دې لخوا خپره شوې دهmagnetron sputtering کوټ کولو ماشین جوړونکی– ګوانګډونګ ژینوا
د پوسټ وخت: اپریل 07-2023