د کاتوډ آئن پوښ کولو پروسه

د کاتوډ آئن کوټینګ کولو پروسه په لاندې ډول ده:

1، د زنګون انګټونه په سقوط کې واچوئ.

2، د ورک پیس نصب کول.

3、5 × 10-3Pa ته د ایستلو وروسته، آرګون ګاز د سپینو زرو ټیوب څخه د کوټینګ چیمبر ته معرفي کیږي، او د خلا کچه شاوخوا 100Pa ده.

4، د تعصب ځواک فعال کړئ.

5 、 د قوس د بریښنا د فعالولو وروسته د خالي کیتوډ خارج کیدو لپاره. ګلو ډیسچارج د تڼۍ په ټیوب کې رامینځته کیږي ، د ډیسچارج ولتاژ 800 ~ 1000V دی ، د آرک لوړولو جریان 30 ~ 50A دی د ګلو د خالي کیتوډ اغیزې له امله خارج کول، د لوړ ګلو خارج کیدو اوسني کثافت، د سپینو زرو په ټیوب کې د موږک ایونونو لوړ کثافت د وینټیج ټیوب دیوال بمباروي، د ټیوب دیوال په چټکۍ سره د الکترون جریان اخراج ته تودوخه کوي، د ګلو خارج کیدو څخه د خارج کیدو حالت ناڅاپي بدلون ته. د آرک ډیسچارج، ولتاژ 40 ~ 70V دی، اوسنی 80 ~ 300A دی. د سلور ټیوب تودوخه له 2300K څخه پورته ده، تاپدید، له ټیوب څخه د آرک الکترونونو لوړ کثافت جریان خارجوي، او انود ته ویشل کیږي.

6، د ویکیوم سطح تنظیم کول. د خالي کیتوډ ټوپک څخه د ګلو خارجولو لپاره د ویکیوم کچه شاوخوا 100 Pa ده، او د ویکیوم کچه د 8 × 10-1 ~ 2Pa ده، نو له همدې امله، د آرک خارج کیدو وروسته، راتلونکی ارګون کم کړئ ژر تر ژره ګاز، د ویکیوم کچه د پوښ کولو لپاره مناسب حد ته تنظیم کړئ.

7、Titanium plated base layer.Electron in anodically collapse د چین فلزي انګوټ ته جریان،حرارتي انرژي ته د متحرک انرژی تبادله، د تودوخې په واسطه د چین فلز تبخیر، د بخار اتومونه د ټایټانیوم فلم جوړولو لپاره ورک پیس ته رسیږي.

8، د TiN.Nitrogen ګاز جمع کول د کوټینګ چیمبر ته عرضه کیږي، د نایټروجن ګاز او بخار شوي اتومونه په نایتروجن او ټایټانیوم ایونونو کې ایونیز شوي دي. د کراسبل څخه پورته، د ټیټ سټرینسینس سره د ټیتانیم بخار اتومونو د غیر انعطاف احتمالي ټکر لوړ احتمال. د فلزي جلا کیدو کچه تر 20٪ ~ 40٪ پورې لوړه ده.، د ټایټانیوم آئنونه ډیر احتمال لري چې کیمیاوي عکس العمل د ګاز نایتروجن سره، د نایټریډ مینټل فلم پرت ترلاسه کولو لپاره زیرمه کړي. خولی کیتوډ ټوپک دواړه د بخار کولو سرچینه ده، بله سرچینه د ionization. د کوټ کولو په وخت کې، د کروسیبل په شاوخوا کې د برقی مقناطیسي کویل جریان هم باید تنظیم شي، د الکترون بیم د سقوط مرکز ته تمرکز وکړي، په دې توګه، د الکترون جریان د بریښنا کثافت زیاتیږي.

9، بریښنا بنده. وروسته له دې چې د فلم ضخامت مخکې ټاکل شوي فلم ضخامت ته ورسیږي، د آرک بریښنا رسولو بند کړئ، تعصب بریښنا رسولو او هوا رسولو.