د کاتوډیک آرک سرچینې آئن کوټینګ پروسه اساسا د نورو کوټینګ ټیکنالوژیو په څیر ده ، او ځینې عملیات لکه د ورک پیسونو نصب کول او ویکیوم کول نور نه تکرار کیږي.
1. بمبارد د workpieces پاکول
د کوټ کولو دمخه، ارګون ګاز د 2×10-2Pa د ویکیوم سره د کوټینګ چیمبر ته معرفي کیږي.
د نبض تعصب بریښنا رسولو ته وګرځئ، د 20٪ د وظیفې دورې او د 800-1000V د ورک پیس تعصب سره.
کله چې د آرک بریښنا فعاله شي، د سړې ساحې آرک روښنايي خارج کیږي، کوم چې د آرک سرچینې څخه لوی مقدار الکترون کرنټ او د ټایټانیوم آئن جریان خپروي، د لوړ کثافت پلازما جوړوي.د ټایټانیوم آئن د ورک پیس کې د منفي لوړ تعصب فشار لاندې په ورک پیس کې خپل انجیکشن ګړندی کوي ، د ورک پیس په سطحه جذب شوي پاتې ګاز او ککړونکي بمباروي او تویوي ، او د ورک پیس سطح پاکوي او پاکوي؛په ورته وخت کې، د کوټ کولو په خونه کې د کلورین ګاز د الکترونونو په واسطه ionized کیږي، او د ارګون آئنونه د ورک پیس سطح بمباري ګړندۍ کوي.
له همدې امله، د بمبارۍ پاکولو اغیز ښه دی.یوازې د یوې دقیقې بمبارۍ پاکول کولی شي د کار پیس پاک کړي ، کوم چې د "مین آرک بمبارۍ" په نوم یادیږي.د ټایټانیوم آئنونو د لوړې کچې له امله ، که چیرې کوچنۍ آرک سرچینه د ډیر وخت لپاره د ورک پیس بمبارۍ او پاکولو لپاره وکارول شي ، د ورک پیس تودوخه د ډیر تودوخې احتمال لري ، او د وسیلې څنډه ممکن نرم شي.په عمومي تولید کې، کوچني آرک سرچینې یو له یو څخه پورته څخه ښکته ته لیږدول کیږي، او هره کوچنۍ آرک سرچینه شاوخوا 1 دقیقې د بمبارۍ پاکولو وخت لري.
（1） د ټایټانیوم لاندې طبقه پوښل
د دې لپاره چې د فلم او سبسټریټ تر مینځ چپکتیا ښه کړي ، د خالص ټایټینیم سبسټریټ یو پرت معمولا د ټایټانیوم نایټرایډ پوښ کولو دمخه پوښل کیږي.د خلا کچه 5 × 10-2-3 × 10-1Pa ته تنظیم کړئ ، د ورک پیس تعصب ولټاژ 400-500V ته تنظیم کړئ ، او د نبض تعصب بریښنا رسولو دنده دوره 40٪ ~ 50٪ ته تنظیم کړئ.بیا هم د یخ ساحې آرکینګ خارجیدو رامینځته کولو لپاره یو له بل سره کوچني آرک سرچینې سوځول.د ورک پیس د منفي تعصب ولتاژ کمیدو له امله ، د ټایټانیوم آئن انرژي کمیږي.د ورک پیس ته رسیدو وروسته ، د سپټرینګ اغیز د زیرمه کولو اغیزې څخه لږ دی ، او د ټایټانیوم لیږد پرت په ورک پیس کې رامینځته کیږي ترڅو د ټایټینیم نایټریډ هارډ فلم پرت او سبسټریټ ترمینځ د اړیکې ځواک ښه کړي.دا پروسه هم د workpiece ګرمولو پروسه ده.کله چې د خالص ټایټانیوم هدف خارج شي، په پلازما کې رڼا azure نیلي وي.
1. امونیټ شوي کڅوړه د سخت فلم پوښ
د خلا درجه 3 × 10 ته تنظیم کړئ-1-5Pa، د ورک پیس تعصب ولتاژ 100-200V ته تنظیم کړئ، او د نبض تعصب بریښنا رسولو دنده دوره 70٪ ~ 80٪ ته تنظیم کړئ.وروسته له دې چې نایتروجن معرفي شي، ټایټانیوم د آرک ډیسچارج پلازما سره ترکیبي عکس العمل دی چې د ټایټانیوم نایټرایډ سخت فلم زیرمه کوي.په دې وخت کې، د ویکیوم چیمبر کې د پلازما رڼا چیری سور دی.که د سي2H2، او2، او داسې نور معرفي شوي، TiCN، TiO2, etc. د فلم پرتونه ترلاسه کیدی شي.
- دا مقاله د ګوانګډونګ ژینوا لخوا خپره شوېد ویکیوم کوټینګ ماشین جوړونکی
د پوسټ وخت: جون 01-2023