د آیون پوښماشین په 1960s کې د DM Mattox لخوا وړاندیز شوې تیوري څخه سرچینه اخیستې، او ورته تجربې په هغه وخت کې پیل شوې؛تر 1971 پورې، چیمبرز او نورو د الکترون بیم ایون پلیټینګ ټیکنالوژي خپره کړه؛د عکس العمل تبخیر پلیټینګ (ARE) ټیکنالوژي په 1972 کې د بنشاه په راپور کې په ګوته شوې ، کله چې د سپر سخت فلم ډولونه لکه TiC او TiN تولید شوي؛همدارنګه په 1972 کې، سمیټ او مولي د کوټینګ په پروسه کې د خولی کیتوډ ټیکنالوژي غوره کړه.په 1980 لسیزه کې، په چین کې د آیون پلیټینګ په پای کې د صنعتي غوښتنلیک کچې ته رسیدلي، او د پوښ کولو پروسې لکه د ویکیوم ملټي آرک آئن پلیټینګ او آرک ډیسچارج آئن پلیټینګ په پرله پسې توګه څرګند شوي.
د ویکیوم آئن پلیټینګ ټوله کاري پروسه په لاندې ډول ده: لومړی،پمپد خلا خونې، او بیاانتظارد ویکیوم فشار تر 4X10 ⁻ ³ Paیا ښه، دا اړینه ده چې د لوړ ولتاژ بریښنا رسولو سره وصل شي او د سبسټریټ او تبخیر تر مینځ د ټیټ ولتاژ خارج شوي ګاز د ټیټ تودوخې پلازما ساحه جوړه کړئ.د سبسټریټ الیکټروډ د 5000V DC منفي لوړ ولټاژ سره وصل کړئ ترڅو د کیتوډ روښانه خارج شي.غیر فعال ګاز ایونونه د منفي چمک ساحې ته نږدې رامینځته کیږي.دوی د کیتوډ تیاره ساحې ته ننوځي او د بریښنایی ساحې لخوا ګړندي کیږي او د سبسټریټ سطح بمباري کوي.دا د پاکولو پروسه ده، او بیا د کوټینګ پروسې ته ننوځئ.د بمبارۍ تودوخې اغیزې له لارې، ځینې پلیټینګ مواد بخار شوي دي.د پلازما ساحه پروټونونو ته ننوځي، د الکترونونو او غیر فعال ګازو ایونونو سره ټکر کوي، او د دوی یوه کوچنۍ برخه ionized کیږي، دا ionized ionized د لوړې انرژۍ سره به د فلم سطح بمبار کړي او د فلم کیفیت یو څه ښه کړي.
د ویکیوم آئن پلیټینګ اصول دا دي: د ویکیوم په خونه کې ، د ګاز خارج کیدو پیښې یا د بخار شوي موادو ionized برخې په کارولو سره ، د بخار شوي موادو ایونونو یا ګازو ایونونو بمبارۍ لاندې ، په ورته وخت کې دا بخار شوي مادې یا د دوی عکس العمل په سبسټریټ کې زیرمه کړئ. د یو پتلی فلم ترلاسه کولو لپاره.د ایون پوښماشیند ویکیوم تبخیر ، پلازما ټیکنالوژي او د ګاز ګلو خارج کول ترکیب کوي ، کوم چې نه یوازې د فلم کیفیت ښه کوي ، بلکه د فلم غوښتنلیک لړۍ هم پراخه کوي.د دې پروسې ګټې قوي انعطاف ، ښه فلم چپکونکي ، او مختلف پوښاک توکي دي.د آیون پلیټینګ اصول لومړی د DM Mattox لخوا وړاندیز شوی و.د آیون پلیټینګ ډیری ډولونه شتون لري.ترټولو عام ډول د تبخیر تودوخې دی ، پشمول د مقاومت تودوخې ، د بریښنایی بیم تودوخې ، د پلازما الکترون بیم تودوخې ، د لوړې فریکونسۍ انډکشن تودوخې او نور تودوخې میتودونه.
د پوسټ وخت: فبروري 14-2023