د آیون بیم د زیرمه کولو ټیکنالوژي مرسته کوي

په حقیقت کې، د آیون بیم سره مرسته شوي زیرمه کولو ټیکنالوژي یو جامع ټیکنالوژي ده.دا د سطحي آئن درملنې جامع تخنیک دی چې د آئن امپلانټیشن او فزیکي بخار ډیپوزیشن فلم ټیکنالوژي ترکیب کوي ، او د آیون بیم سطح اصلاح کولو نوی ډول تخنیک.د فزیکي بخار د زیرمو د ګټو سربیره، دا تخنیک کولی شي په دوامداره توګه د ډیرو سختو کنټرول شرایطو لاندې د هر ډول ضخامت فلم وده وکړي، د فلم پرت کریسټالینیت او سمتیت د پام وړ ښه کړي، د فلم پرت / سبسټریټ د چپکولو ځواک زیات کړي، کثافت ښه کړي. د فلم طبقه، او د کوټې د تودوخې سره نږدې د مثالي سټوچیومیټریک تناسب سره مرکب فلمونه ترکیب کړئ، په شمول د فلمونو نوي ډولونه چې د خونې په حرارت او فشار کې نشي ترلاسه کیدی.د آیون بیم سره مرسته شوي زیرمه نه یوازې د آیون امپلانټیشن پروسې ګټې ساتي ، بلکه کولی شي سبسټریټ د سبسټریټ څخه په بشپړ ډول مختلف فلم سره پوښي.
په هر ډول فزیکي بخار او د کیمیاوي بخارونو په زیرمه کولو کې، د IBAD سیسټم جوړولو لپاره د مرستندویه بمبارۍ ایون ټوپکونو سیټ اضافه کیدی شي، او د IBAD دوه عمومي پروسې په لاندې ډول دي، لکه څنګه چې په انځور کې ښودل شوي:

لکه څنګه چې په Pic (a) کې ښودل شوي، د الیکټران بیم تبخیر سرچینه د فلم پرت ته د ایون توپک څخه خارج شوي آیون بیم سره د شعاع کولو لپاره کارول کیږي، په دې توګه د آیون بیم مرسته شوي زیرمه احساسوي.ګټه یې دا ده چې د آیون بیم انرژي او سمت تنظیم کیدی شي ، مګر یوازې یو واحد یا محدود مصر ، یا مرکب د تبخیر سرچینې په توګه کارول کیدی شي ، او د مصر د برخې او مرکب هر بخار فشار توپیر لري ، کوم چې دا ستونزمن کوي. د اصلي تبخیر سرچینې جوړښت فلم پرت ترلاسه کولو لپاره.
Pic (b) د ion beam sputtering-assisted deposition ښیي، چې د ډبل ion beam sputtering deposition په نوم هم یادیږي، په کوم کې چې هدف د ion beam sputtering coating material څخه جوړ شوی، د سپټرینګ محصولات د سرچینې په توګه کارول کیږي.پداسې حال کې چې دا په سبسټریټ کې زیرمه کوي، د آیون بیم سپټرینګ سره مرسته کیږي د بل آئن سرچینې سره د شعاع په واسطه ترلاسه کیږي.د دې میتود ګټه دا ده چې ټوټې ټوټې شوي ذرات پخپله یو ټاکلی انرژي لري، نو د سبسټریټ سره ښه چپکیږي؛د هدف هره برخه کوټینګ کیدی شي ، مګر په فلم کې د عکس العمل سپټرینګ هم کیدی شي ، د فلم ترکیب تنظیم کول اسانه دي ، مګر د هغې د راټولولو موثریت ټیټ دی ، هدف ګران دی او ستونزې شتون لري لکه انتخابي سپټرینګ.