د میګنیټرون سپټرینګ او کاتوډیک ملټي آرک آئن کوټینګ جامع کوټینګ تجهیزات کولی شي په جلا او یوځل کار وکړي؛کیدای شي زیرمه شي او خالص فلزي فلم، فلزي مرکب فلم یا مرکب فلم چمتو کړي؛کیدای شي د فلم یو واحد پرت او څو پرت مرکب فلم وي.
ګټې یې په لاندې ډول دي:
دا نه یوازې د مختلف ایون کوټینګونو ګټې سره یوځای کوي او د غوښتنلیک مختلف برخو لپاره د پتلي فلم چمتو کول او زیرمه په پام کې نیسي ، بلکه په ورته خلا کې د څو پرت مونولیتیک فلمونو یا څو پرت مرکب فلمونو زیرمه کولو او چمتو کولو ته هم اجازه ورکوي. په یو وخت کې د کوټ کولو خونه.
د زیرمه شوي فلم پرتونو غوښتنلیکونه په پراخه کچه کارول کیږي د دې ټیکنالوژۍ په مختلفو بڼو کې دي، ځانګړي یې په لاندې ډول دي:
(1) د غیر متوازن میګنیټرون سپټرینګ او کیتوډیک آیون پلیټینګ ټیکنالوژۍ مرکب.
وسیله یې په لاندې ډول ښودل شوې.دا د کالمر میګنیټرون هدف او پلانر کاتوډیک آرک آئن کوټینګ مرکب کوټینګ تجهیزات دي ، کوم چې د وسیلې کوټینګ کمپاونډ فلم او آرائشی فلم کوټ کولو لپاره مناسب دی.د وسیلې کوټینګ لپاره ، د کیتوډیک آرک آئن کوټینګ لومړی د بیس لیت کوټ کولو لپاره کارول کیږي ، او بیا د کالم میګنیټرون هدف د نایټریډ او نورو فلم پرتونو د زیرمه کولو لپاره کارول کیږي ترڅو د لوړ دقیق پروسس کولو وسیلې سطحي فلم ترلاسه کړي.
د آرائشی کوټینګ لپاره ، د TiN او ZrN آرائشی فلمونه لومړی د کیتوډیک آرک کوټینګ لخوا زیرمه کیدی شي ، او بیا د میګنټرون هدفونو په کارولو سره د فلزي سره ډوپ شوي ، او د ډوپینګ اغیز خورا ښه دی.
(2) د دوه ګونی طیارې میګنیټرون او کالم کیتوډ آرک آئن کوټینګ تخنیکونو ترکیب.وسیله په لاندې ډول ښودل شوې.دا د پرمختللي دوه اړخیز هدف ټیکنالوژۍ کارول کیږي، کله چې دوه اړخیزه دوه ګوني هدفونه د منځنۍ فریکونسۍ بریښنا رسولو سره وصل وي، دا نه یوازې د DC سپټرینګ، اور او نورو نیمګړتیاوو هدف مسمومیت باندې بریالي کیږي؛او کولی شي د Al203، SiO2 آکسایډ کیفیت فلم زیرمه کړي، نو د لیپت شویو برخو د اکسیډریشن مقاومت زیات شوی او ښه شوی.د کالم ملټي آرک هدف د ویکیوم چیمبر په مرکز کې نصب شوی ، د هدف توکي د Ti او Zr کارول کیدی شي ، نه یوازې د لوړ ملټي آرک انډول کولو نرخ ګټې ساتلو لپاره ، د زیرمه کولو نرخ ، بلکه کولی شي په مؤثره توګه "څاڅکي" کم کړي. د کوچنۍ الوتکې ملټي آرک هدف ذخیره کولو پروسه ، کولی شي د فلزي فلمونو ، مرکب فلمونو ټیټ پورسیت زیرمه او چمتو کړي.که چیرې Al او Si د دوه ګونی پلانر میګنیټرون هدفونو لپاره د هدف موادو په توګه وکارول شي چې په محیط کې نصب شوي، Al203 یا Si0 فلزي سیرامیک فلمونه زیرمه او چمتو کیدی شي.برسېره پردې، د څو-آرک تبخیر سرچینې ډیری کوچنۍ الوتکې په محیط کې نصب کیدی شي، او د دې هدف مواد کیدای شي Cr یا Ni وي، او فلزي فلمونه او څو اړخیزه مرکب فلمونه زیرمه او چمتو کیدی شي.له همدې امله ، دا جامع کوټینګ ټیکنالوژي د ډیری غوښتنلیکونو سره یو جامع کوټینګ ټیکنالوژي ده.
د پوسټ وخت: نومبر-08-2022