1) Os alvos cilíndricos têm uma taxa de utilização mais alta que os alvos planares.No processo de revestimento, seja um tipo magnético rotativo ou um alvo de pulverização cilíndrica do tipo tubo rotativo, todas as partes da superfície do tubo alvo passam continuamente pela área de pulverização gerada na frente do ímã permanente para receber pulverização catódica, e o o alvo pode ser uniformemente gravado e a taxa de utilização do alvo é alta.A taxa de utilização dos materiais de destino é de cerca de 80% ~ 90%.
2) Alvos cilíndricos não produzirão facilmente “envenenamento de alvo”.Durante o processo de revestimento, a superfície do tubo alvo é sempre pulverizada e corroída por íons, e não é fácil acumular óxidos espessos e outros filmes isolantes na superfície, e não é fácil produzir “envenenamento do alvo”.
3) A estrutura do alvo de pulverização catódica cilíndrica tipo tubo alvo rotativo é simples e fácil de instalar.
4) O material do tubo alvo cilíndrico tem vários tipos.alvo planar com resfriamento direto de água de alvo de metal, e alguns não podem ser processados e alvos cilíndricos formados, como alvo In2-SnO2, etc. com material em pó para prensagem isostática a quente para obter alvos semelhantes a placas, porque o tamanho não pode ser feito grande e quebradiço, por isso é necessário usar o método de brasagem e placa traseira de cobre para integrar e instalar na base de destino.Além de tubos metálicos, alvos colunares também podem ser pulverizados na superfície de tubos de aço inoxidável com vários materiais que precisam ser revestidos, como Si, Cr, etc.
Atualmente, a proporção de alvos cilíndricos para revestimento na produção industrial está aumentando.Os alvos cilíndricos não são usados apenas na máquina de revestimento vertical, mas também na máquina de revestimento rolo a rolo.Nos últimos anos, os alvos gêmeos planares são gradualmente substituídos pelos alvos gêmeos cilíndricos.
——Este artigo foi lançado pela Guangdong Zhenhua Technology, umafabricante de máquinas de revestimento óptico.
Horário de postagem: 11 de maio de 2023