Introdução às Técnicas Convencionais para Deposição de Revestimentos Duros

1. Tecnologia térmica CVD

Os revestimentos duros são principalmente revestimentos metalocerâmicos (TiN, etc.), que são formados pela reação do metal no revestimento e na gaseificação reativa.A princípio, a tecnologia CVD térmica foi usada para fornecer a energia de ativação da reação de combinação por energia térmica a uma alta temperatura de 1000 ℃.Esta temperatura é adequada apenas para depositar TiN e outros revestimentos duros em ferramentas de metal duro.Até agora, ainda é uma tecnologia importante depositar revestimentos compostos TiN-Al20 em cabeças de ferramentas de metal duro.

2. Revestimento de íons de cátodo oco e revestimento de íons de arco de fio quente

Na década de 1980, o revestimento de íons de cátodo oco e o revestimento de íons de arco de fio quente foram usados ​​para depositar ferramentas de corte revestidas.Ambas as tecnologias de revestimento iônico são tecnologias de revestimento iônico de descarga de arco, com uma taxa de ionização de metal de até 20% ~ 40%.

3. Revestimento de íons de arco catódico

O surgimento do revestimento de íons de arco catódico levou ao desenvolvimento da tecnologia de deposição de revestimentos duros em moldes.A taxa de ionização do revestimento de íons de arco catódico é de 60% ~ 90%, permitindo que um grande número de íons metálicos e íons de gás de reação atinjam a superfície da peça de trabalho e ainda mantenham alta atividade, resultando em deposição de reação e formação de revestimentos duros, como Lata.Atualmente, a tecnologia de revestimento de íons de arco catódico é usada principalmente para depositar revestimentos duros em moldes.

A fonte de arco catódico é uma fonte de evaporação de estado sólido sem uma poça de fusão fixa, e a posição da fonte de arco pode ser colocada arbitrariamente, melhorando a taxa de utilização do espaço da sala de revestimento e aumentando a capacidade de carga do forno.As formas das fontes de arco catódico incluem pequenas fontes de arco catódico circulares, fontes de arco colunar e fontes de arco grandes retangulares planas.Diferentes componentes de pequenas fontes de arco, fontes de arco colunar e grandes fontes de arco podem ser arranjadas separadamente para depositar filmes multicamadas e nano filmes multicamadas.Enquanto isso, devido à alta taxa de ionização de metal do revestimento de íons de arco catódico, os íons de metal podem absorver mais gases de reação, resultando em uma ampla gama de processos e operação simples para obter excelentes revestimentos duros.No entanto, existem gotículas grosseiras na microestrutura da camada de revestimento obtida por revestimento de íons de arco catódico.Nos últimos anos, muitas novas tecnologias surgiram para refinar a estrutura da camada de filme, o que melhorou a qualidade do filme de revestimento de íons de arco.

——Este artigo foi lançado pela Guangdong Zhenhua Technology, umafabricante de máquinas de revestimento óptico.