O processo de revestimento de íons de cátodo oco é o seguinte:
1、Coloque os lingotes Chin no colapso.
2、Montagem da peça de trabalho.
3、Depois de evacuar para 5×10-3Pa, o gás argônio é introduzido na câmara de revestimento do tubo de prata, e o nível de vácuo é de cerca de 100Pa.
4、Ligue a alimentação de polarização.
5、Depois de ligar a energia do arco para acender a descarga do cátodo oco. A descarga do brilho é gerada no tubo do botão, a tensão de descarga é de 800 ~ 1000 V, a corrente de elevação do arco é de 30 ~ 50 A. Devido ao efeito do cátodo oco do brilho descarga, alta densidade de corrente de descarga de brilho, a alta densidade de íons no tubo de prata bombardeia a parede do tubo de vantagem, faça a parede do tubo aquecer rapidamente para a emissão de fluxo de elétrons, o modo de descarga da descarga de brilho mudança repentina para descarga de arco, tensão é 40 ~ 70 V, corrente é 80 ~ 300 A. A temperatura do tubo de prata atinge acima de 2300 K, incandescente, emite um fluxo de alta densidade de elétrons de arco do tubo e dispara para o ânodo.
6、Ajuste do nível de vácuo. O nível de vácuo para descarga de brilho da pistola de cátodo oco é de cerca de 100 Pa, e o grau de vácuo do revestimento é 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Portanto, após a ignição da descarga do arco, reduza o argônio de entrada gás o mais rápido possível, ajuste o nível de vácuo para uma faixa adequada para revestimento.
7、Camada de base banhada a titânio. Fluxo de elétrons no lingote de metal Chin colapsado anodicamente, Conversão de energia cinética em energia térmica, Evaporação de metal Chin por aquecimento, Átomos de vapor atingem a peça de trabalho para formar um filme de titânio.
8、Deposição de TiN. O gás nitrogênio é fornecido à câmara de revestimento, o gás nitrogênio e os átomos evaporados são ionizados em íons de nitrogênio e titânio. Acima do cadinho, maior probabilidade de colisões inelásticas de átomos de vapor de titânio com fluxos densos de elétrons de baixa energia, A taxa de dissociação do metal é tão alta quanto 20% ~ 40%.,Os íons de titânio são mais propensos a reagir quimicamente com o nitrogênio do gás de reação,Deposição para obter uma camada de filme de manto de nitreto.A pistola de cátodo oco é uma fonte de vaporização，Outra fonte de ionização.Durante o revestimento,A corrente da bobina eletromagnética ao redor do cadinho também deve ser ajustada,Foque o feixe de elétrons no centro do colapso,Assim, a densidade de energia do fluxo de elétrons é aumentada.
9、Desligar. Após a espessura do filme atingir a espessura predeterminada, desligue a fonte de alimentação do arco、Fonte de alimentação de polarização e suprimento de ar.
Horário da postagem: 08 de julho de 2023