O equipamento de revestimento composto de pulverização catódica de magnetron e revestimento de íons multi-arco catódico pode funcionar separadamente e simultaneamente;pode ser depositado e preparado filme de metal puro, filme composto de metal ou filme composto;pode ser uma única camada de filme e um filme composto de múltiplas camadas.
Suas vantagens como segue:
Ele não apenas combina as vantagens de vários revestimentos iônicos e leva em consideração a preparação e deposição de filmes finos para vários campos de aplicação, mas também permite a deposição e preparação de filmes monolíticos multicamadas ou filmes compostos multicamadas no mesmo vácuo câmara de revestimento de uma só vez.
As aplicações de camadas de filme depositadas são amplamente utilizadas, suas tecnologias estão em uma variedade de formas, as típicas são as seguintes:
(1) O composto de pulverização catódica de magnetron sem equilíbrio e tecnologia de revestimento de íons catódicos.
Seu dispositivo é mostrado a seguir.É um equipamento de revestimento composto de alvo de magnetron colunar e revestimento de íons de arco catódico planar, que é adequado tanto para filme composto de revestimento de ferramentas quanto para revestimento de filme decorativo.Para revestimento de ferramentas, o revestimento de íons de arco catódico é usado primeiro para o revestimento da camada de base e, em seguida, o alvo do magnetron da coluna é usado para a deposição de nitreto e outras camadas de filme para obter um filme de superfície de ferramenta de processamento de alta precisão.
Para revestimento decorativo, os filmes decorativos de TiN e ZrN podem ser depositados primeiro por revestimento de arco catódico e depois dopados com metal usando alvos de magnetron, e o efeito de dopagem é muito bom.
(2) O composto de magnetron de plano duplo e técnicas de revestimento de íons de arco de cátodo de coluna.O dispositivo é mostrado a seguir.É usada a tecnologia avançada de alvo duplo, quando dois alvos gêmeos lado a lado ligados à fonte de alimentação de média frequência, ele não apenas supera o envenenamento do alvo de pulverização catódica DC, incêndio e outras desvantagens;e pode depositar Al203, filme de qualidade de óxido de SiO2, de modo que a resistência à oxidação das peças revestidas aumentou e melhorou.Alvo multi-arco colunar instalado no centro da câmara de vácuo, o material alvo pode ser usado Ti e Zr, não apenas para manter as vantagens da alta taxa de dissociação multi-arco, taxa de deposição, mas também pode efetivamente reduzir "gotículas" em o processo de deposição de alvo multi-arco plano pequeno, pode depositar e preparar uma baixa porosidade de filmes de metal, filmes compostos.Se Al e Si forem usados como materiais-alvo para os alvos de magnetron planar duplo instalados na periferia, filmes de metal-cerâmica de Al203 ou Si0 podem ser depositados e preparados.Além disso, vários pequenos planos de fonte de evaporação multi-arco podem ser instalados na periferia, e seu material alvo pode ser Cr ou Ni, e filmes de metal e filmes compostos multicamadas podem ser depositados e preparados.Portanto, esta tecnologia de revestimento composto é uma tecnologia de revestimento composto com múltiplas aplicações.
Horário de postagem: 08 de novembro de 2022