HFCVD0606

Camera de acoperire în vid a echipamentului de depunere a vaporilor chimici adoptă o structură independentă de răcire cu apă cu două straturi, care este eficientă și uniformă la răcire și are o structură sigură și stabilă.Echipamentul este proiectat cu uși duble, ferestre multiple de observare și interfețe de expansiune multiple, ceea ce este convenabil pentru conectarea externă a perifericelor auxiliare, cum ar fi măsurarea temperaturii în infraroșu, analiza spectrală, monitorizarea video și termocuplul.Conceptul de design avansat face revizuirea și întreținerea zilnică, schimbarea configurației și modernizarea echipamentului ușor și simplu și reduce efectiv costurile de utilizare și upgrade.

Caracteristici echipament:

1. Componentele de umflare ale echipamentului includ în principal debitmetrul masic, supapa solenoidală și rezervorul de amestec de gaz, care asigură controlul precis al fluxului de gaz de proces, amestecarea uniformă și izolarea în siguranță a diferitelor gaze și pot selecta componente ale sistemului de gaz pentru utilizarea sursă de gaz lichid, facilitează selecția personalizată a unei game largi de surse de carbon lichid și utilizarea în siguranță a surselor de bor lichid de diamante conductoare sintetice și electrozi.
2. Ansamblul de extracție a aerului este echipat cu o pompă de vid cu palete rotative silențioase și eficiente și un sistem de pompă turbo moleculară care poate îndeplini rapid mediul de fundal cu vid înalt.Vacuometrul compozit cu indicator de rezistență și manometru de ionizare este utilizat pentru măsurarea vidului, precum și sistemul de măsurare a filmului capacitiv care poate măsura presiunea diferitelor gaze de proces într-o gamă largă.Presiunea de depunere este controlată complet automat de o supapă de control proporțională de înaltă precizie.
3. Componenta de apă de răcire este echipată cu presiunea, debitul, măsurarea temperaturii și software-ul de monitorizare automată multicanal.Diferitele componente de răcire sunt independente unele de altele, ceea ce este convenabil pentru diagnosticarea rapidă a defecțiunilor.Toate ramurile au întrerupătoare independente de supapă, ceea ce este sigur și eficient.
4.Componentele de control electric adoptă un ecran LCD cu interfață om-mașină de dimensiuni mari și cooperează cu controlul complet automat PLC pentru a facilita editarea și importul formulei de proces.Curba grafică afișează vizual modificările și valorile diferiților parametri, iar echipamentele și parametrii procesului sunt înregistrați și arhivați automat pentru a facilita urmărirea problemelor și analiza statistică a datelor.
5. Raftul pentru piese de prelucrat este echipat cu un servomotor pentru a controla ridicarea și coborârea mesei substratului.Tabelul de substrat cu grafit sau cupru roșu poate fi selectat.Temperatura este măsurată de un termocuplu.
6.Componentele rackului pot fi proiectate ca întreg sau separat, în funcție de cerințele clienților, pentru a îndeplini cerințele speciale de manipulare ale clienților.
7.Componentele plăcii de etanșare sunt frumoase și elegante.Plăcile de etanșare din diferite zone ale modulelor funcționale ale echipamentului pot fi rapid demontate sau deschise și închise independent, ceea ce este foarte convenabil de utilizat.

Echipamentul CVD cu filament fierbinte este potrivit pentru depunerea materialelor diamantate, inclusiv acoperirea cu peliculă subțire, filmul gros autoportant, diamantul microcristalin și nanocristalin, diamantul conductiv etc. Este utilizat în principal pentru acoperirea de protecție rezistentă la uzură a sculelor de tăiere cu carbură cimentată, materiale semiconductoare precum siliciu și carbură de siliciu, acoperirea cu disipare a căldurii a dispozitivelor, electrodul de diamant conductiv dopat cu bor, dezinfecția cu ozon a apei electrolitice sau tratarea apelor uzate.