① Controlabilitate bună și repetabilitate a grosimii filmului
Dacă grosimea filmului poate fi controlată la o valoare predeterminată se numește controlabilitate a grosimii filmului.Grosimea necesară a filmului poate fi repetată de mai multe ori, ceea ce se numește repetabilitate a grosimii filmului. Deoarece curentul de descărcare și curentul țintă al stratului de pulverizare în vid pot fi controlate separat.Prin urmare, grosimea filmului pulverizat este controlabilă, iar filmul cu grosimea predeterminată poate fi depus în mod fiabil.În plus, acoperirea prin pulverizare poate obține o peliculă cu grosime uniformă pe o suprafață mare.
② Aderență puternică între film și substrat
Energia atomilor pulverizați este cu 1-2 ordine de mărime mai mare decât cea a atomilor evaporați.Conversia energetică a atomilor pulverizați de înaltă energie depuși pe substrat este mult mai mare decât cea a atomilor evaporați, ceea ce generează căldură mai mare și sporește aderența dintre atomii pulverizați și substrat.În plus, unii atomi pulverizați cu energie înaltă produc grade diferite de injecție, formând un strat de pseudodifuziune pe substrat.În plus, substratul este întotdeauna curățat și activat în regiunea plasmei în timpul procesului de formare a filmului, care îndepărtează atomii de pulverizare cu aderență slabă și purifică și activează suprafața substratului.Prin urmare, filmul pulverizat are o aderență puternică la substrat.
③ Se poate pregăti un nou film de material diferit de țintă
Dacă în timpul pulverizării este introdus gaz reactiv pentru a-l face să reacționeze cu ținta, se poate obține un nou film de material complet diferit de țintă.De exemplu, siliciul este folosit ca țintă de pulverizare, iar oxigenul și argonul sunt introduse împreună în camera de vid.După pulverizare, se poate obține film izolator SiOz.Folosind titanul ca țintă de pulverizare, azotul și argonul sunt introduse împreună în camera de vid, iar filmul asemănător cu aur TiN de fază poate fi obținut după pulverizare.
④ Puritate ridicată și calitate bună a filmului
Deoarece nu există nicio componentă a creuzetului în dispozitivul de preparare a filmului pentru pulverizare, componentele materialului de încălzire a creuzetului nu vor fi amestecate în stratul de film pentru pulverizare.Dezavantajele acoperirii prin pulverizare sunt că viteza de formare a filmului este mai mică decât cea a acoperirii prin evaporare, temperatura substratului este mai mare, este ușor să fie afectat de gazul impur și structura dispozitivului este mai complexă.
Acest articol este publicat de Guangdong Zhenhua, un producător deechipamente de acoperire cu vid
Ora postării: Mar-09-2023