Caracteristici comune ale tehnologiei îmbunătățite de acoperire cu ioni cu descărcare strălucitoare

1. Înclinarea piesei de prelucrat este scăzută

Datorită adăugării unui dispozitiv pentru creșterea ratei de ionizare, densitatea curentului de descărcare crește, iar tensiunea de polarizare este redusă la 0,5 ~ 1kV.

Sputteringul cauzat de bombardarea excesivă a ionilor de înaltă energie și efectul de deteriorare asupra suprafeței piesei sunt reduse.

2. Densitatea plasmatică crescută

Au fost adăugate diferite măsuri pentru a promova ionizarea prin coliziune, iar rata de ionizare a metalelor a crescut de la 3% la mai mult de 15%.Densitatea ionilor de bărbie și a atomilor neutri de înaltă energie, a ionilor de azot, a atomilor activi de înaltă energie și a grupurilor active din camera de acoperire este crescută, ceea ce este favorabil reacției de a forma compuși.Diferitele tehnologii de acoperire cu ioni cu descărcare strălucitoare îmbunătățită de mai sus au putut obține straturi de film dur TN prin depunerea de reacție la densități mai mari de plasmă, dar deoarece aparțin tipului de descărcare strălucitoare, densitatea curentului de descărcare nu este suficient de mare (încă nivelul mA/cm2). ), iar densitatea globală a plasmei nu este suficient de mare, iar procesul de acoperire a compusului de depunere de reacție este dificil.

3. Intervalul de acoperire al sursei punctiforme de evaporare este mic

Diverse tehnologii îmbunătățite de acoperire cu ioni folosesc surse de evaporare cu fascicul de electroni și gantu ca sursă de evaporare punctuală, care este limitată la un anumit interval peste gantu pentru depunerea de reacție, astfel încât productivitatea este scăzută, procesul este dificil și este dificil de industrializat.

4. Funcționare la înaltă presiune a pistolului electronic

Tensiunea pistolului de electroni este de 6 ~ 30 kV, iar tensiunea de polarizare a piesei de prelucrat este de 0,5 ~ 3 kV, care aparține funcționării de înaltă tensiune și prezintă anumite pericole pentru siguranță.

——Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua Technology, aproducator de masini de acoperire optică.