Introducere în tehnicile convenționale de depunere a acoperirilor dure

1. Tehnologia termică CVD

Acoperirile dure sunt în mare parte acoperiri metal-ceramice (TiN, etc.), care sunt formate prin reacția metalului în acoperire și gazeificarea reactivă.La început, tehnologia termică CVD a fost folosită pentru a furniza energia de activare a reacției combinate prin energie termică la o temperatură ridicată de 1000 ℃.Această temperatură este potrivită numai pentru depunerea TiN și alte acoperiri dure pe sculele din carbură cimentată.Până acum, este încă o tehnologie importantă depunerea de acoperiri compozite TiN-Al20 pe capete de scule din carbură cimentată.

2. Acoperire cu ioni catodic gol și acoperire cu ioni cu arc de sârmă fierbinte

În anii 1980, acoperirea ionică cu catod gol și acoperirea ionică cu arc fierbinte au fost folosite pentru a depozita sculele de tăiere acoperite.Ambele tehnologii de acoperire ionică sunt tehnologii de acoperire ionică cu descărcare de arc, cu o rată de ionizare a metalului de până la 20% ~ 40%.

3. Acoperire cu ion arc catodic

Apariția acoperirii cu ioni cu arc catodic a condus la dezvoltarea tehnologiei de depunere a acoperirilor dure pe matrițe.Rata de ionizare a acoperirii cu ion arc catodic este de 60% ~ 90%, permițând unui număr mare de ioni metalici și ioni de gaz de reacție să ajungă la suprafața piesei de prelucrat și să mențină în continuare o activitate ridicată, ducând la depunerea de reacție și formarea de acoperiri dure, cum ar fi Staniu.În prezent, tehnologia de acoperire cu ioni cu arc catodic este utilizată în principal pentru a depune acoperiri dure pe matrițe.

Sursa de arc catodic este o sursă de evaporare în stare solidă fără un bazin topit fix, iar poziția sursei de arc poate fi plasată în mod arbitrar, îmbunătățind rata de utilizare a spațiului din camera de acoperire și mărind capacitatea de încărcare a cuptorului.Formele surselor de arc catodic includ surse mici de arc catodic circular, surse de arc columnar și surse de arc dreptunghiular plat mare.Diferite componente ale surselor de arc mic, surselor de arc columnar și surselor de arc mari pot fi aranjate separat pentru a depune filme multistrat și nano filme multistrat.Între timp, datorită ratei ridicate de ionizare a metalului a acoperirii cu ion arc catodic, ionii metalici pot absorbi mai multe gaze de reacție, rezultând o gamă largă de proces și o operare simplă pentru a obține acoperiri dure excelente.Cu toate acestea, există picături grosiere în microstructura stratului de acoperire obținute prin acoperirea cu ion arc catodic.În ultimii ani, au apărut multe tehnologii noi pentru a rafina structura stratului de film, ceea ce a îmbunătățit calitatea filmului de acoperire cu ioni de arc.

——Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua Technology, aproducator de masini de acoperire optică.