Proces de polimerizare directă cu plasmă
Procesul de polimerizare cu plasmă este relativ simplu atât pentru echipamentele de polimerizare cu electrozi interni, cât și pentru echipamentele de polimerizare cu electrozi externi, dar selecția parametrilor este mai importantă în polimerizarea cu plasmă, deoarece parametrii au un impact mai mare asupra structurii și performanței filmelor polimerice în timpul polimerizării cu plasmă.
Etapele operaționale pentru polimerizarea directă cu plasmă sunt următoarele:
(1) Aspirarea
Vidul de fond al polimerizării în condiții de vid trebuie pompat la 1,3 x 10-1 Pa.Pentru reacțiile de polimerizare care necesită cerințe speciale pentru controlul conținutului de oxigen sau azot, necesarul de vid de fundal este și mai mare.
(2) Monomer de reacție de încărcare sau gaz amestecat de gaz purtător și monomer
Gradul de vid este de 13-130 Pa.Pentru polimerizarea cu plasmă care necesită lucru, trebuie selectate modul adecvat de control al debitului și debitul, în general 10,100 ml/min.În plasmă, moleculele de monomeri sunt ionizate și disociate prin bombardarea particulelor energetice, rezultând particule active, cum ar fi ionii și genele active.Particulele active activate de plasmă pot suferi polimerizare cu plasmă la interfața dintre faza gazoasă și faza solidă.Monomerul este sursa de precursor pentru polimerizarea cu plasmă, iar gazul de reacție de intrare și monomerul trebuie să aibă o anumită puritate.
(3) Selectarea sursei de alimentare de excitație
Plasma poate fi generată folosind surse de curent continuu, de înaltă frecvență, RF sau microunde pentru a oferi un mediu de plasmă pentru polimerizare.Selectarea sursei de alimentare este determinată pe baza cerințelor privind structura și performanța polimerului.
(4) Selectarea modului de descărcare
Pentru cerințele polimerilor, polimerizarea cu plasmă poate alege două moduri de descărcare: descărcare continuă sau descărcare în impuls.
(5) Selectarea parametrilor de descărcare
Când se efectuează polimerizarea cu plasmă, parametrii de descărcare trebuie luați în considerare din parametrii plasmei, proprietățile polimerului și cerințele de structură.Mărimea puterii aplicate în timpul polimerizării este determinată de volumul camerei de vid, dimensiunea electrodului, debitul și structura monomerului, rata de polimerizare și structura și performanța polimerului.De exemplu, dacă volumul camerei de reacție este de 1L și se adoptă polimerizarea cu plasmă RF, puterea de descărcare va fi în intervalul 10~30W.În astfel de condiții, plasma generată se poate agrega pentru a forma o peliculă subțire pe suprafața piesei de prelucrat.Rata de creștere a filmului de polimerizare cu plasmă variază în funcție de sursa de alimentare, tipul de monomer și debitul și condițiile de proces.În general, rata de creștere este de 100 nm/min ~ 1um/min.
(6) Măsurarea parametrilor în polimerizarea cu plasmă
Parametrii de plasmă și parametrii de proces care trebuie măsurați în polimerizarea cu plasmă includ: tensiunea de descărcare, curentul de descărcare, frecvența de descărcare, temperatura electronilor, densitatea, tipul și concentrația grupului de reacție etc.
——Acest articol a fost publicat de Guangdong Zhenhua Technology, aproducator de masini de acoperire optică.
Ora postării: mai-05-2023