Procesul de acoperire cu ion catod gol este următorul:
1, Pune lingourile Chin în colaps.
2、Montarea piesei de prelucrat.
3、După evacuarea la 5×10-3Pa, gazul argon este introdus în camera de acoperire din tubul de argint, iar nivelul de vid este de aproximativ 100Pa.
4、Porniți puterea de polarizare.
5, După ce porniți puterea arcului pentru a aprinde descărcarea catodului gol. Descărcarea strălucitoare este generată în tubul butonului, tensiunea de descărcare este de 800 ~ 1000 V, curentul de creștere a arcului este de 30 ~ 50 A. Datorită efectului de catod gol al strălucirii descărcare, densitate mare de curent de descărcare strălucitoare, densitate mare a ionilor de șobolan din tubul de argint bombardează peretele tubului avantajos, face ca peretele tubului să se încălzească rapid până la emisia de flux de electroni, modul de descărcare de la descărcarea strălucitoare se schimbă brusc la descărcarea arcului, tensiunea este de 40 ~ 70 V, curentul este de 80 ~ 300 A. Temperatura tubului de argint atinge peste 2300 K, incandescent, emite un flux de densitate mare de electroni de arc din tub și împușcat la anod.
6, Ajustarea nivelului de vid. Nivelul de vid pentru descărcarea strălucitoare din pistolul cu catod gol este de aproximativ 100 Pa, iar gradul de vid de acoperire este de 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Prin urmare, după aprinderea descărcării arcului, reduce argonul de intrare gaz cât mai curând posibil, Reglați nivelul de vid la un interval adecvat pentru acoperire.
7, Strat de bază placat cu titan. Fluxul de electroni pe lingoul de metal Chin colaps anodic, Conversia energiei cinetice în energie termică, Evaporarea metalului Chin prin încălzire, Atomii de vapori ajung la piesa de prelucrat pentru a forma o peliculă de titan.
8, Depunerea de TiN. Gazul de azot este furnizat în camera de acoperire, Gazul de azot și atomii evaporați sunt ionizați în ioni de azot și titan. Rata de disociere a metalului este de până la 20% ~ 40%.,Ionii de titan au mai multe șanse să reacționeze chimic cu azotul gazos de reacție,Depunerea pentru a obține un strat de peliculă de nitrură.Pistolul cu catod gol este atât o sursă de vaporizare，O altă sursă de ionizare.În timpul acoperirii,Curentul bobinei electromagnetice din jurul creuzetului trebuie, de asemenea, ajustat,Focalizează fasciculul de electroni spre centrul colapsului,Astfel, densitatea de putere a fluxului de electroni este crescută.
9、Oprire. După ce grosimea filmului atinge grosimea predeterminată a filmului, Opriți alimentarea cu arc, sursa de alimentare polarizată și alimentarea cu aer.
Ora postării: Iul-08-2023