Depunerea de pelicule subțiri este un proces fundamental utilizat în industria semiconductorilor, precum și în multe alte domenii ale științei și ingineriei materialelor. Aceasta implică crearea unui strat subțire de material pe un substrat. Peliculele depuse pot avea o gamă largă de grosimi, de la doar câteva straturi atomice până la câțiva micrometri. Aceste pelicule pot servi la multe scopuri, cum ar fi conductori electrici, izolatori, acoperiri optice sau bariere de protecție.
Iată principalele metode utilizate pentru depunerea peliculelor subțiri:
Depunere fizică de vapori (PVD)
Pulverizare catodică: Un fascicul de ioni de înaltă energie este utilizat pentru a desprinde atomii de pe un material țintă, care apoi se depune pe substrat.
Evaporare:** Materialul este încălzit în vid până se evaporă, apoi vaporii se condensează pe substrat.
Depunere în straturi atomice (ALD)
ALD este o tehnică prin care un film este crescut pe un substrat, strat cu strat. Este extrem de controlată și poate crea filme foarte precise și conforme.
Epitaxia cu fascicul molecular (MBE)
MBE este o tehnică de creștere epitaxială în care fascicule de atomi sau molecule sunt direcționate pe un substrat încălzit pentru a forma o peliculă subțire cristalină.
Avantajele depunerii prin peliculă subțire
Funcționalitate îmbunătățită: Filmele pot oferi proprietăți noi substratului, cum ar fi rezistența la zgârieturi sau conductivitatea electrică.
Consum redus de materiale: Permite crearea de dispozitive complexe cu un consum minim de materiale, reducând costurile.
Personalizare: Filmele pot fi adaptate pentru a avea proprietăți mecanice, electrice, optice sau chimice specifice.
Aplicații
Dispozitive semiconductoare: Tranzistoare, circuite integrate și sisteme microelectromecanice (MEMS).
Acoperiri optice: Acoperiri antireflexive și cu reflexie ridicată pentru lentile și celule solare.
Acoperiri de protecție: Pentru a preveni coroziunea sau uzura uneltelor și utilajelor.
Aplicații biomedicale: Acoperiri pentru implanturi medicale sau sisteme de administrare a medicamentelor.
Alegerea tehnicii de depunere depinde de cerințele specifice ale aplicației, inclusiv tipul de material care urmează să fie depus, proprietățile dorite ale peliculei și constrângerile de cost.
–Acest articol este publicat deproducător de mașini de acoperire în vidGuangdong Zhenhua
Data publicării: 15 august 2024