Ce este acoperirea cu rezistență la sursa de evaporare?

Acoperirea cu rezistență la sursa de evaporare este o metodă de bază de acoperire prin evaporare în vid.„Evaporare” se referă la o metodă de preparare a filmului subțire în care materialul de acoperire din camera de vid este încălzit și evaporat, astfel încât atomii sau moleculele de material să se vaporizeze și să scape de la suprafață, formând un fenomen de curgere a vaporilor, incident pe suprafața substrat sau substrat și, în final, condensat pentru a forma o peliculă solidă.

Așa-numita metodă de acoperire a sursei de evaporare cu rezistență este de a folosi tantal, molibden, wolfram și alte metale cu punct de topire ridicat pentru a face o formă adecvată a sursei de evaporare, care este încărcată cu materiale care trebuie evaporate, lăsați aerul să curgă, încălzirea directă și evaporați materialele evaporate sau puneți materialele care urmează să fie evaporate în alumină, oxid de beriliu și alte creuzete pentru încălzire indirectă și evaporare.Aceasta este metoda de evaporare prin încălzire prin rezistență.

Themașină de acoperire prin evaporare în vidîncălzit și evaporat de încălzitor cu rezistență are avantajele unei structuri simple, costuri reduse și utilizare fiabilă.Poate fi utilizat pentru acoperirea prin evaporare a materialelor cu punct de topire scăzut, în special pentru producția de masă cu cerințe scăzute pentru calitatea acoperirii.Până în prezent, există încă un număr mare de procese de acoperire de încălzire prin rezistență și evaporare puse în aplicare în producția de oglinzi aluminizate.

Dezavantajele metodei de acoperire prin evaporare a sursei de evaporare cu rezistență sunt că temperatura maximă care poate fi atinsă prin încălzire este limitată, iar durata de viață a încălzitorului este, de asemenea, scurtă.În ultimii ani, pentru a îmbunătăți durata de viață a sursei de evaporare de rezistență, fabrica de echipamente a adoptat ca sursă de evaporare materialul ceramic conductiv sintetizat prin nitrură de bor cu o durată lungă de viață.Conform unui raport de brevet japonez, poate folosi materiale compuse din 20% ~ 30% nitrură de bor și materiale refractare care pot fi topite cu aceasta pentru a face sursa de evaporare (crezetul) și să-și acopere suprafața cu un strat de zirconiu care conține 62% ~82%, iar restul sunt materiale din aliaj de zirconiu-siliciu.