Această serie de echipamente utilizează ținte de magnetron pentru a transforma materialele de acoperire în particule de dimensiuni nanometrice, care sunt depuse pe suprafața substraturilor pentru a forma pelicule subțiri.Filmul rulat este plasat în camera de vid.Prin structura de înfășurare acționată electric, un capăt primește filmul, iar celălalt pune filmul.Continuă să treacă prin zona țintă și primește particulele țintă pentru a forma o peliculă densă.
Caracteristică:
1. Formarea peliculei la temperaturi joase.Temperatura are un efect redus asupra filmului și nu va produce deformare.Este potrivit pentru folii cu bobine PET, PI și alte materiale de bază.
2. Grosimea filmului poate fi proiectată.Straturile subțiri sau groase pot fi proiectate și depuse prin ajustarea procesului.
3. Proiectare locație țintă multiple, proces flexibil.Întreaga mașină poate fi echipată cu opt ținte, care pot fi folosite fie ca ținte simple metalice, fie ca ținte compuse și oxidice.Poate fi folosit pentru a prepara filme cu un singur strat cu structură unică sau filme multistrat cu structură compozită.Procesul este foarte flexibil.
Echipamentul poate pregăti film de ecranare electromagnetică, acoperire flexibilă a plăcii de circuite, diferite filme dielectrice, film antireflex multistrat AR, film antireflex HR înalt, film color etc. Echipamentul are o gamă foarte largă de aplicații și depunerea filmului cu un singur strat poate fi completat prin depunere unică a filmului.
Echipamentul poate adopta ținte metalice simple precum Al, Cr, Cu, Fe, Ni, SUS, TiAl etc., sau ținte compuse precum SiO2, Si3N4, Al2O3, SnO2, ZnO, Ta2O5, ITO, AZO etc.
Echipamentul este de dimensiuni mici, structura compactă, suprafață mică, consum redus de energie și reglare flexibilă.Este foarte potrivit pentru cercetarea și dezvoltarea proceselor sau producția de masă în loturi mici.