Echipamentele de curățare cu plasmă cu vid adoptă o structură integrată, echipată cu sistem de curățare cu ioni RF, control complet automat, funcționare și întreținere convenabilă.
Generatorul de înaltă frecvență RF poate genera plasmă de înaltă densitate, poate activa, grava și cenușa suprafața piesei de prelucrat, poate îndepărta eficient praful și grăsimea de pe suprafața produsului, elibera stresul de suprafață și poate obține diferite modificări pe suprafața piesei de prelucrat.
Este aplicabil pentru cauciuc, sticlă, ceramică, metal și alte produse și este aplicat la microelectronice, LCD, LED, LCM, circuite PCB, ambalaje semiconductoare, dispozitive medicale, experimente științifice vieții și alte domenii.