HFCVD0606

Камера вакуумного покрытия оборудования для химического осаждения из паровой фазы имеет независимую двухслойную конструкцию с водяным охлаждением, которая является эффективной и равномерной при охлаждении, а также имеет безопасную и стабильную конструкцию.Оборудование спроектировано с двойными дверями, несколькими смотровыми окнами и несколькими интерфейсами расширения, что удобно для внешнего подключения вспомогательных периферийных устройств, таких как инфракрасное измерение температуры, спектральный анализ, видеомониторинг и термопара.Усовершенствованная концепция дизайна делает ежедневный капитальный ремонт и техническое обслуживание, изменение конфигурации и модернизацию оборудования легкими и простыми, а также эффективно снижает затраты на использование и модернизацию.

Характеристики оборудования:

1. Компоненты накачивания оборудования в основном включают массовый расходомер, электромагнитный клапан и резервуар для смешивания газа, которые обеспечивают точный контроль потока технологического газа, равномерное смешивание и безопасную изоляцию различных газов, а также могут выбирать компоненты газовой системы для использования источник жидкого газа, облегчают персонализированный выбор широкого спектра источников жидкого углерода и безопасное использование источников синтетического проводящего алмаза и электродного жидкого бора.
2.Установка для вытяжки воздуха оснащена бесшумным и эффективным пластинчато-роторным вакуумным насосом и турбомолекулярной насосной системой, которая может быстро справиться с фоновой средой высокого вакуума.Для измерения вакуума используется составной вакуумметр с датчиком сопротивления и ионизационным датчиком, а также система емкостного пленочного датчика, которая может измерять давление различных технологических газов в широком диапазоне.Давление напыления полностью автоматически контролируется высокоточным пропорциональным регулирующим клапаном.
3. Компонент охлаждающей воды оснащен многоканальным измерением давления воды, расхода, температуры и автоматическим мониторингом программного обеспечения.Различные компоненты охлаждения не зависят друг от друга, что удобно для быстрой диагностики неисправностей.Все ответвления имеют независимые переключатели клапанов, что является безопасным и эффективным.
4. Электрические компоненты управления используют большой ЖК-экран человеко-машинного интерфейса и взаимодействуют с полностью автоматическим управлением ПЛК, чтобы облегчить редактирование и импорт формулы процесса.Графическая кривая визуально отображает изменения и значения различных параметров, а параметры оборудования и процесса автоматически записываются и архивируются для облегчения отслеживания проблем и статистического анализа данных.
5. Стойка для заготовок оснащена серводвигателем для управления подъемом и опусканием стола для подложек.Можно выбрать стол из графита или красной меди.Температура измеряется термопарой.
6. Компоненты стеллажа могут быть спроектированы целиком или по отдельности в соответствии с требованиями заказчика, чтобы удовлетворить особые требования клиентов к обработке.
7. Компоненты уплотнительной пластины красивы и элегантны.Уплотнительные пластины в различных функциональных модульных зонах оборудования можно быстро демонтировать или открывать и закрывать самостоятельно, что очень удобно в использовании.

Оборудование CVD с горячей нитью подходит для нанесения алмазных материалов, включая тонкопленочные покрытия, самонесущие толстые пленки, микрокристаллические и нанокристаллические алмазы, проводящие алмазы и т. д. Оно в основном используется для износостойкого защитного покрытия режущих инструментов из цементированного карбида, полупроводниковых материалов. такие как кремний и карбид кремния, теплорассеивающее покрытие устройств, проводящий алмазный электрод, легированный бором, озоновая дезинфекция электролитической воды или очистка сточных вод.