1) Цилиндрические мишени имеют более высокий коэффициент использования, чем плоские мишени.В процессе нанесения покрытия, независимо от того, является ли это цилиндрической мишенью для распыления вращающегося магнитного типа или вращающейся трубки, все части поверхности трубки-мишени непрерывно проходят через зону распыления, создаваемую перед постоянным магнитом, для получения катодного распыления, и мишень может быть равномерно распылена травлением, и коэффициент использования мишени высок.Коэффициент использования целевых материалов составляет около 80% ~ 90%.
2) Цилиндрические мишени не так просто произвести «отравление мишеней».В процессе нанесения покрытия поверхность трубки-мишени всегда распыляется и травится ионами, и на поверхности нелегко накапливать толстые оксиды и другие изолирующие пленки, а также нелегко произвести «отравление мишени».
3) Конструкция цилиндрической мишени для распыления с вращающейся трубкой проста и удобна в установке.
4) Материал цилиндрической целевой трубки бывает различных типов.плоская мишень с металлической мишенью прямого водяного охлаждения, а некоторые не могут быть обработаны и сформированы цилиндрические мишени, такие как мишень In2-SnO2 и т. д. с порошковым материалом для горячего изостатического прессования для получения пластинчатых мишеней, потому что размер не может быть сделан большой и хрупкий, поэтому необходимо использовать метод пайки и медную заднюю пластину для интеграции, а затем установить на целевую базу.В дополнение к металлическим трубам столбчатые мишени также могут напыляться на поверхность труб из нержавеющей стали различными материалами, которые необходимо покрыть, такими как Si, Cr и т. д.
В настоящее время увеличивается доля цилиндрических мишеней для нанесения покрытий в промышленном производстве.Цилиндрические мишени используются не только в вертикальных машинах для нанесения покрытий, но и в машинах для нанесения покрытий с рулона на рулон.В последние годы плоские двойные мишени постепенно заменяются двойными цилиндрическими мишенями.
——Эта статья была выпущена компанией Guangdong Zhenhua Technology,производитель машин для нанесения оптических покрытий.
Время публикации: 11 мая 2023 г.