1. Характеристики потока электронов дуги
Плотность потока электронов, потоков ионов и высокоэнергетических нейтральных атомов в дуговой плазме, генерируемой дуговым разрядом, значительно выше, чем в тлеющем разряде.В пространстве покрытия больше ионов газа и ионов металлов, ионизированных, возбужденных высокоэнергетических атомов и различных активных групп, которые играют важную роль на стадиях нагрева, очистки и нанесения покрытия в процессе нанесения покрытия.Форма действия потока электронов дуги отличается от формы действия ионного пучка, не все из которых сходятся в «пучок», а в основном находятся в расходящемся состоянии, поэтому его называют потоком электронов дуги.Поскольку электроны дуги текут к аноду, поток электронов дуги направлен везде, где подключен положительный электрод источника питания дуги, а анодом может быть заготовка, вспомогательный анод, тигель и т. д.
2. Способ генерирования потока электронов дуги
(1) Источник газа создает поток электронов дуги: ток дуги дугового разряда с полым катодом и дугового разряда с горячей проволокой может достигать около 200 А, а напряжение дуги составляет 50-70 В.
(2) Твердый источник создает поток электронов дуги: катодный источник дуги, включая источник малой дуги, цилиндрический источник дуги, прямоугольный плоский источник большой дуги и т. д. Ток дуги каждого разряда катодной дуги составляет 80-200 А, а напряжение дуги составляет 18-25В.
Поток электронов дуги с высокой плотностью и низкой энергией в двух типах плазмы дугового разряда может генерировать интенсивную ионизацию столкновения с атомами газа и металлической пленки, получая больше ионов газа, ионов металла и различных активных атомов и групп с высокой энергией, тем самым улучшая общая активность ионов слоя пленки.
–Эта статья была опубликована Guangdong Zhenhua,производитель вакуумных лакировочных машин
Время публикации: 31 мая 2023 г.