① Хорошая управляемость и повторяемость толщины пленки
Возможность регулирования толщины пленки на заданном уровне называется управляемостью толщины пленки.Требуемая толщина пленки может повторяться много раз, что называется повторяемостью толщины пленки. Поскольку ток разряда и целевой ток вакуумного напыления покрытия можно контролировать отдельно.Таким образом, можно контролировать толщину напыленной пленки, и можно надежно наносить пленку заданной толщины.Кроме того, напыление покрытия позволяет получить пленку одинаковой толщины на большой поверхности.
② Сильная адгезия между пленкой и подложкой
Энергия распыленных атомов на 1-2 порядка выше, чем у испаренных атомов.Преобразование энергии распыленных атомов с высокой энергией, осажденных на подложку, намного выше, чем у испаренных атомов, что приводит к большему выделению тепла и увеличивает адгезию между распыленными атомами и подложкой.Кроме того, некоторые высокоэнергетические распыленные атомы производят разную степень инжекции, образуя псевдодиффузионный слой на подложке.Кроме того, подложка всегда очищается и активируется в плазменной области в процессе формирования пленки, что удаляет распыляющие атомы со слабой адгезией, а также очищает и активирует поверхность подложки.Поэтому напыленная пленка имеет сильную адгезию к подложке.
③ Можно подготовить пленку из нового материала, отличного от целевого.
Если во время распыления ввести реактивный газ, чтобы заставить его реагировать с мишенью, можно получить новую пленку материала, полностью отличную от мишени.Например, в качестве мишени для распыления используется кремний, а в вакуумную камеру вместе помещаются кислород и аргон.После напыления можно получить изоляционную пленку SiOz.Используя титан в качестве мишени для напыления, азот и аргон вместе помещают в вакуумную камеру, и после напыления можно получить фазовую золотоподобную пленку TiN.
④ Высокая чистота и хорошее качество пленки
Поскольку в устройстве для подготовки пленки для напыления нет компонента тигля, компоненты материала нагревателя тигля не будут смешиваться в слое пленки для напыления.Недостатки покрытия напылением заключаются в том, что скорость формирования пленки ниже, чем у покрытия напылением, температура подложки выше, легко подвергается воздействию примесного газа, а структура устройства является более сложной.
Эта статья опубликована Guangdong Zhenhua, производителемоборудование для вакуумного покрытия
Время публикации: 09 марта 2023 г.