Экологические требования к оборудованию для вакуумного нанесения покрытий

Соборудование для вакуумного покрытияработает в условиях вакуума, оборудование должно соответствовать требованиям вакуума для окружающей среды.В отраслевых стандартах для различных типов оборудования для вакуумного нанесения покрытий, разработанных в моей стране (включая общие технические условия для оборудования для вакуумного нанесения покрытий, оборудования для вакуумного ионного покрытия, оборудования для нанесения покрытий методом вакуумного напыления и оборудования для нанесения покрытий методом вакуумного испарения), четко определены экологические требования.Только при соблюдении экологических требований к оборудованию для вакуумного нанесения покрытия оборудование может работать нормально, а при правильном процессе нанесения покрытия можно производить соответствующие продукты покрытия.

Требования к вакуумной среде обычно включают в себя требования вакуумного оборудования к окружающей среде, такие как температура лаборатории (или мастерской), скудная прибыль в воздухе, а также требования к деталям или поверхностям в вакуумном состоянии или в вакуум.Эти два аспекта тесно связаны.Качество окружающей среды напрямую влияет на нормальное использование вакуумного оборудования, и то, очищается ли вакуумная камера вакуумного оборудования или загруженные в нее детали, напрямую влияет на производительность оборудования.Если воздух содержит много водяного пара и пыли, а вакуумная камера не очищалась, трудно достичь желаемой степени вакуума с помощью механического насоса с масляным уплотнением для откачки воздуха.Как мы все знаем, механические насосы с масляным уплотнением не подходят для перекачки газов, вызывающих коррозию металлов, химически вступающих в реакцию с вакуумным маслом и содержащих твердые частицы пыли.Водяной пар является конденсирующимся газом.Когда насос откачивает большое количество конденсирующегося газа, загрязнение масла насоса будет более серьезным.В результате предельный вакуум насоса упадет, и производительность насоса будет нарушена.

Нормальные условия работы оборудования для вакуумного нанесения покрытий:

① Температура окружающей среды 10~30℃;

② Относительная влажность не более 70%;

③ Температура охлаждающей воды на входе не превышает 25°C;

④ Качество охлаждающей воды Водопроводная водопроводная вода или вода аналогичного качества;

⑤Напряжение питания: 380В, трехфазное 50Гц или 220В, однофазное 50Гц (в зависимости от потребностей используемых электроприборов), диапазон колебаний напряжения 342~399В или 198~231В, диапазон колебаний частоты 49~51Гц;

⑥Давление, температура и потребление должны быть указаны в инструкции по эксплуатации продукта;

⑦ Окружающая среда вокруг оборудования чистая, а воздух чистый, и не должно быть пыли или газа, которые могут вызвать коррозию поверхности электроприборов и других металлических частей или вызвать электрическую проводимость между металлами.

Кроме того, лаборатория или мастерская, где находится оборудование для вакуумного нанесения покрытий, должны содержаться в чистоте и гигиене.Пол терраццо или деревянный крашеный пол, без пыли.Чтобы газ, выходящий из механического насоса, не загрязнял лабораторную среду, его можно использовать на выпускном отверстии насоса.Установите на поверхность выхлопную трубу (металлическую, резиновую трубу) для вывода газа наружу.