оборудование для вакуумного покрытиясостоит из множества точных деталей, которые изготавливаются с помощью многих процессов, таких как сварка, шлифовка, токарная обработка, строгание, расточка, фрезерование и так далее.Из-за этих работ поверхность деталей оборудования неизбежно будет загрязнена некоторыми загрязняющими веществами, такими как жир, масляная грязь, металлическая стружка, сварочный флюс, полировальная паста, следы пота и так далее.Эти загрязняющие вещества легко испаряются в условиях вакуума, что влияет на предельный вакуум оборудования.
Кроме того, эти вакуумные загрязнители от механической обработки поглощают большое количество газа в среде атмосферного давления, и в состоянии вакуума эти ранее адсорбированные газы также будут снова высвобождаться, становясь основным фактором, ограничивающим предельный вакуум.По этой причине загрязняющие вещества должны быть удалены до того, как будут собраны части машины для вакуумного нанесения покрытий.
В процессе использования вакуумного оборудования его компоненты также будут загрязняться.Однако загрязнение из этого источника в основном вызвано условиями использования и вакуумным насосом.
1. Испарение нити вакуумметра в условиях высоких температур приведет к образованию пленки на керамическом изоляторе, что в определенной степени повредит его изоляционную прочность, а также окажет определенное влияние на точность его измерения. измерение;
2. Из-за высокотемпературного испарения на поверхности вблизи нити накала электронной пушки в вакууме будет образовываться металлическая пленка;
3. Из-за распыления заготовки внутренняя стенка оборудования для ионно-лучевого травления будет загрязнена брызгами;
4. Внутренняя стенка оборудования для вакуумного напыления будет загрязнена целевым материалом для испарения;
5. Часто используется система вакуумной сушки, и система будет загрязнена испаряющимися веществами;
6. Масло диффузионного насоса и масло механического насоса в оборудовании для вакуумного нанесения покрытий также являются основным источником загрязнения.После длительной работы лакировальной машины внутри оборудования может образоваться масляная пленка.
Подводя итог, вакуумная санация оборудования включает в себя вакуумное оборудование, вакуумную систему, производство вакуумного процесса и другие аспекты и связи, а также требования к самому оборудованию для вакуумного покрытия и специальному вакуумному процессу по условиям использования.Таким образом, вакуумное загрязнение является проблемой, заслуживающей внимания, поскольку эти загрязнения будут влиять на производительность оборудования, и следует уделять внимание регулярной очистке или очистке в любое время.
Время публикации: 21 февраля 2023 г.