Покрытие с источником резистивного испарения является основным методом нанесения покрытия методом вакуумного испарения.«Испарение» относится к способу получения тонкой пленки, при котором материал покрытия в вакуумной камере нагревается и испаряется, так что атомы или молекулы материала испаряются и улетучиваются с поверхности, образуя явление потока пара, падающего на поверхность субстрат или субстрат, и, наконец, конденсируется с образованием твердой пленки.
Так называемый метод покрытия источника испарения сопротивлением заключается в использовании тантала, молибдена, вольфрама и других металлов с высокой температурой плавления для создания соответствующей формы источника испарения, который загружается испаряемыми материалами, пропускает воздух, непосредственно нагревает и выпарить испаряемые материалы или поместить испаряемые материалы в глинозем, оксид бериллия и другие тигли для непрямого нагрева и выпаривания.Это метод испарения с нагреванием сопротивления.
машина для вакуумного напылениянагретый и испаренный нагревателем сопротивления имеет преимущества простой структуры, низкой стоимости и надежного использования.Его можно использовать для покрытия методом напыления материалов с низкой температурой плавления, особенно для серийного производства с низкими требованиями к качеству покрытия.На сегодняшний день все еще существует большое количество процессов покрытия резистивным нагревом и испарением, используемых при производстве алюминизированных зеркал.
Недостатки метода нанесения покрытия методом резистивного испарения с источником испарения заключаются в том, что максимальная температура, которая может быть достигнута при нагреве, ограничена, а срок службы нагревателя также невелик.В последние годы, чтобы увеличить срок службы источника испарения сопротивления, завод по производству оборудования принял проводящий керамический материал, синтезированный нитридом бора, с длительным сроком службы в качестве источника испарения.Согласно японскому патентному отчету, он может использовать материалы, состоящие из 20–30% нитрида бора, и огнеупорные материалы, которые можно сплавить с ним, чтобы сделать источник испарения (тигель), и покрыть его поверхность слоем циркония, содержащим 62% ~82%, а остальные материалы сплава цирконий-кремний.
Время публикации: 22 апреля 2023 г.