گرم تار آرڪ وڌايو پلازما ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي آرڪ پلازما کي خارج ڪرڻ لاءِ گرم تار آرڪ گن استعمال ڪري ٿي، مختصر طور تي گرم تار آرڪ PECVD ٽيڪنالاجي.هي ٽيڪنالاجي هاٽ وائر آرڪ گن آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جهڙي آهي، پر فرق اهو آهي ته گرم تار آرڪ گن آئن ڪوٽنگ ذريعي حاصل ڪيل سولڊ فلم، گرم تار آرڪ گن مان خارج ٿيندڙ آرڪ لائٽ اليڪٽران جي وهڪري کي استعمال ڪري ٿي، جنهن ۾ ڌاتو کي گرم ڪرڻ ۽ بخار ٿيڻ لاءِ. ڪرسيبل، جڏهن ته گرم تار آرڪ لائٽ PECVD کي رد عمل گيس سان ڀريو ويندو آهي، جهڙوڪ CH4 ۽ H2، جيڪي هيرن جي فلمن کي جمع ڪرڻ لاء استعمال ٿيندا آهن.گرم تار آرڪ گن مان خارج ٿيندڙ تيز کثافت واري آرڪ ڊسچارج تي ڀروسو ڪندي، رد عمل واري گيس آئنز مختلف فعال ذرات حاصل ڪرڻ لاءِ پرجوش آهن، جن ۾ گيس آئنز، ايٽمي آئنز، فعال گروپ وغيره شامل آهن.
گرم تار آرڪ PECVD ڊوائيس ۾، ٻه برقي مقناطيسي ڪوئل اڃا تائين ڪوٽنگ روم جي ٻاهران نصب ٿيل آهن، جنهن جي ڪري تيز کثافت اليڪٽران جي وهڪري کي انوڊ ڏانهن حرڪت دوران گردش ڪرڻ، اليڪٽران جي وهڪري ۽ رد عمل جي گئس جي وچ ۾ ٽڪر ۽ آئنائيزيشن جو امڪان وڌائي ٿو. .برقي مقناطيسي ڪوئل پڻ آرڪ ڪالمن ۾ تبديل ٿي سگهي ٿي ته جيئن پوري جمع ٿيل چيمبر جي پلازما کثافت کي وڌايو وڃي.آرڪ پلازما ۾، انهن فعال ذرات جي کثافت وڌيڪ آهي، ان کي آسان بڻائي ٿو ته هيرن جي فلمن ۽ ٻين فلمن جي تہن کي ڪم پيس تي جمع ڪرڻ.
——هي آرٽيڪل گوانگڊونگ زينوا ٽيڪنالاجي پاران جاري ڪيو ويو، هڪبصري ڪوٽنگ مشين جي ڪاريگر.
پوسٽ ٽائيم: مئي-05-2023