پلازما سڌو پوليمرائيزيشن عمل

پلازما سڌو پوليمرائيزيشن عمل

پلازما پوليمرائيزيشن جو عمل ٻنهي اندروني اليڪٽرروڊ پوليمرائيزيشن سامان ۽ بيروني اليڪٽرروڊ پوليمرائيزيشن سامان لاءِ نسبتاً سادو آهي، پر پلازما پوليمرائيزيشن ۾ پيراميٽر جي چونڊ وڌيڪ اهم آهي، ڇاڪاڻ ته پلازما پوليمرائيزيشن دوران پوليمر فلمن جي جوڙجڪ ۽ ڪارڪردگيءَ تي پيرا ميٽرز جو وڏو اثر آهي.

سڌو پلازما پوليمرائيزيشن لاء آپريشن جا مرحلا هن ريت آهن:

(1) خالي ڪرڻ

پوليمرائيزيشن جي پس منظر جي خال خال حالتن هيٺ پمپ ڪيو وڃي 1.3 × 10-1Pa.پوليمرائيزيشن رد عملن لاءِ جيڪي آڪسيجن يا نائٽروجن جي مواد کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ خاص گهرجن جي ضرورت هونديون آهن، پس منظر جي خلا جي گهرج اڃا به وڌيڪ هوندي آهي.

(2) چارج ردعمل monomer يا ڪيريئر گئس ۽ monomer جي مخلوط گئس

ويڪيوم درجي 13-130Pa آهي.پلازما پوليمرائيزيشن لاءِ ڪم جي ضرورت آهي، مناسب وهڪري ڪنٽرول موڊ ۽ وهڪري جي شرح کي چونڊيو ويندو، عام طور تي 10.100mL/min.پلازما ۾، monomer molecules ionized آهن ۽ متحرڪ ذرات جي بمباري سان الڳ ٿي ويا آهن، نتيجي ۾ فعال ذرات جهڙوڪ آئن ۽ فعال جينز.پلازما پاران چالو ٿيل ذرڙا گئس فيز ۽ سولڊ فيز جي انٽرفيس تي پلازما پوليمرائيزيشن مان گذري سگهن ٿا.مونومر پلازما پوليمرائيزيشن لاء اڳڀرائي جو ذريعو آهي، ۽ ان پٽ ردعمل گيس ۽ مونومر کي ڪجهه پاڪائي هجڻ گهرجي.

(3) excitation بجلي جي فراهمي جي چونڊ

پلازما پوليمرائيزيشن لاءِ پلازما ماحول مهيا ڪرڻ لاءِ ڊي سي، اعليٰ فريڪوئنسي، آر ايف، يا مائڪرو ويڪرو پاور ذريعن کي استعمال ڪندي ٺاهي سگهجي ٿو.پاور سپلائي جو انتخاب پوليمر جي جوڙجڪ ۽ ڪارڪردگي جي ضرورتن جي بنياد تي طئي ڪيو ويو آهي.

(4) ڊسچارج موڊ جو انتخاب

پوليمر جي ضرورتن لاء، پلازما پوليمرائيزيشن ٻن خارج ڪرڻ جا طريقا چونڊي سگھن ٿا: مسلسل خارج ٿيڻ يا نبض خارج ڪرڻ.

(5) خارج ٿيڻ جي ماپن جو انتخاب

جڏهن پلازما پوليمرائيزيشن کي منظم ڪرڻ، خارج ٿيڻ جي پيٽرولن کي پلازما پيٽرولر، پوليمر ملڪيت ۽ ساخت جي گهرج مان غور ڪرڻ جي ضرورت آهي.پوليمرائيزيشن دوران لاڳو ٿيل طاقت جي شدت ويڪيوم چيمبر جي مقدار، اليڪٽرروڊ سائيز، مونومر جي وهڪري جي شرح ۽ ساخت، پوليمرائيزيشن جي شرح، ۽ پوليمر جي جوڙجڪ ۽ ڪارڪردگي طرفان طئي ڪئي ويندي آهي.مثال طور، جيڪڏهن رد عمل چيمبر جو حجم 1L آهي ۽ آر ايف پلازما پوليمرائيزيشن اختيار ڪئي وئي آهي، خارج ٿيڻ واري طاقت 10 ~ 30W جي حد ۾ هوندي.اهڙين حالتن ۾، ٺاهيل پلازما ڪمپيس جي مٿاڇري تي هڪ پتلي فلم ٺاهي سگهي ٿي.پلازما پوليمرائيزيشن فلم جي واڌ جي شرح پاور سپلائي، مونومر قسم ۽ وهڪري جي شرح، ۽ عمل جي حالتن سان مختلف آهي.عام طور تي، ترقي جي شرح 100nm / منٽ ~ 1um / منٽ آهي.

(6) پلازما پوليمرائيزيشن ۾ پيٽرولر جي ماپ

پلازما پوليمرائيزيشن ۾ ماپڻ وارا پلازما پيرا ميٽرز ۽ پروسيس پيٽرولر شامل آهن: ڊسچارج وولٽيج، ڊسچارج ڪرنٽ، ڊسچارج فريڪوئنسي، اليڪٽران جي گرمي پد، کثافت، رد عمل گروپ جو قسم ۽ ڪنسنٽريشن وغيره.

——هي آرٽيڪل گوانگڊونگ زينوا ٽيڪنالاجي پاران جاري ڪيو ويو، هڪبصري ڪوٽنگ مشين جي ڪاريگر.