سوراخ ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ جو عمل

سوراخ ڪيٿوڊ آئن ڪوٽنگ جو عمل هن ريت آهي:

1، ڪليپشن ۾ چُن جا ڳوڙها وجھو.

2، workpiece تي چڙهڻ.

3، 5 × 10-3Pa تي نڪرڻ کان پوء، آرگن گيس کي چانديء جي ٽيوب مان ڪوٽنگ چيمبر ۾ متعارف ڪرايو ويندو آهي، ۽ ويڪيوم سطح 100Pa جي ڀرسان آهي.

4، تعصب واري طاقت کي چالو ڪريو.

5، آرڪ پاور کي چالو ڪرڻ کان پوء، سوراخ ڪيٿوڊ ڊسچارج کي روشن ڪرڻ لاء. چمڪندڙ ڊسچارج بٽڻ واري ٽيوب ۾ پيدا ٿئي ٿو، ڊسچارج وولٽيج 800 ~ 1000V آهي، آرڪ وڌائڻ وارو ڪرنٽ 30 ~ 50A آهي. چمڪندڙ ڪيٿوڊ اثر جي ڪري ڊسچارج،هاءِ گلو ڊسچارج ڪرنٽ کثافت،سلور ٽيوب ۾ چوٽي جي آئن جي وڏي کثافت وينٽيج ٽيوب جي ديوار تي بمباري ڪري ٿي،ٽيوب جي ڀت کي تيزيءَ سان گرم ڪري ٿو ته جيئن اليڪٽران جي وهڪري جي اخراج تائين، چمڪ جي خارج ٿيڻ واري موڊ ۾ اوچتو تبديلي آرڪ ڊسچارج، وولٽيج 40 ~ 70V آهي، ڪرنٽ 80 ~ 300A آهي. سلور ٽيوب جو گرمي پد 2300K کان مٿي پهچي ٿو، تاپديپت، ٽيوب مان آرڪ اليڪٽران جو هڪ اعلي کثافت وارو وهڪرو خارج ڪري ٿو، ۽ انوڊ ڏانهن شاٽ ڪيو ويو آهي.

6، ويڪيوم ليول جي ايڊجسٽمينٽ. هالو ڪيٿوڊ گن مان گلو ڊسچارج لاءِ ويڪيوم ليول اٽڪل 100 Pa آهي، ۽ ڪوٽنگ جي ويڪيوم ڊگري 8×10-1~ 2Pa آهي. ان ڪري، آرڪ ڊسچارج جي اگنيشن کان پوءِ، ايندڙ آرگن کي گهٽايو. جيترو جلدي ممڪن ٿي سگهي گئس، ويڪيوم ليول کي ترتيب ڏيو ڪوٽنگ لاءِ مناسب حد تائين.

7، ٽائيٽينيم پلاٽ ٿيل بيس پرت. اليڪٽران جو وهڪرو انوڊيڪل ڪلپس ٿيل چن ميٽيل انگوٽ تي، ڪنيٽيڪل انرجي کي حرارتي توانائي ۾ تبديل ڪرڻ، گرم ڪرڻ سان چن جي ڌاتو جو بخارات، بخار جو ايٽم ٽائيٽينيم فلم ٺاهڻ لاءِ ورڪ پيس تائين پهچي ٿو.

8، TiN. نائٽروجن گيس جو ذخيرو ڪوٽنگ چيمبر کي فراهم ڪيو ويندو آهي، نائٽروجن گيس ۽ بخار ٿيل ايٽمس نائٽروجن ۽ ٽائيٽينيم آئنز ۾ آئنائيز ٿي ويندا آهن. ڪرسيبل جي مٿان، ٽائيٽينيم وانپ ايٽمس جي غير لچڪدار ٽڪرن جو وڌيڪ امڪان، گهٽ ۾ گهٽ اليڪٽرروجن سان ڌاتو جي الڳ ٿيڻ جي شرح 20% ~ 40% جيتري آهي.، ٽائيٽينيم آئنز کي ڪيميائي طور تي رد عمل گيس نائٽروجن سان وڌيڪ امڪان آهي، هڪ نائٽرائڊ مينٽ فلم جي پرت حاصل ڪرڻ لاءِ جمع. هي هولو ڪيٿوڊ گن ٻئي واپرائيزيشن جو ذريعو آهي، ٻيو ذريعو آئنائيزيشن جي. ڪوٽنگ دوران، ڪرسيبل جي چوڌاري برقي مقناطيسي ڪوئل جي ڪرنٽ کي پڻ ترتيب ڏيڻ گهرجي، اليڪٽران بيم کي کولڻ جي مرڪز ڏانهن ڌيان ڏيو، اهڙيء طرح، اليڪٽران جي وهڪري جي طاقت جي کثافت وڌي وئي آهي.

9، پاور آف. فلم جي ٿلهي کان پوءِ اڳئين مقرر فلم جي ٿلهي تائين پهچي وڃي، آرڪ پاور سپلائي بند ڪريو، بيس پاور سپلائي ۽ ايئر سپلائي.