مقناطيسي فلٽريشن ٽيڪنالاجي

مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جو بنيادي نظريو
پلازما شعاع ۾ وڏي ذرات لاءِ مقناطيسي فلٽرنگ ڊيوائس جو فلٽرنگ ميڪانيزم هن ريت آهي:
پلازما ۽ وڏن ذرڙن جي وچ ۾ انچارج ۽ چارج کان ماس تناسب جي فرق کي استعمال ڪندي، سبسٽريٽ ۽ ڪيٿوڊ جي مٿاڇري جي وچ ۾ هڪ ”روڪ“ (يا ته هڪ بيفلي يا هڪ وکر ٽيوب وال) رکيل آهي، جيڪو ڪنهن به ذرڙن کي بلاڪ ڪري ٿو جيڪو ڪنهن به ذرڙي ۾ حرڪت ڪري ٿو. ڪيٿوڊ ۽ ذيلي ذخيري جي وچ ۾ سڌي لڪير، جڏهن ته آئنز مقناطيسي فيلڊ جي ذريعي ڦهليل ٿي سگهن ٿا ۽ "روڪ" ذريعي سبسٽريٽ ڏانهن گذري سگهن ٿا.

مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جو ڪم اصول

مقناطيسي ميدان ۾، پي <

Pe ۽ Pi ترتيبوار اليڪٽران ۽ آئنز جو Larmor radii آهن، ۽ a مقناطيسي فلٽر جو اندروني قطر آهي.پلازما ۾ اليڪٽران Lorentz قوت کان متاثر ٿين ٿا ۽ مقناطيسي ميدان سان محوري طور تي گھمندا آهن، جڏهن ته مقناطيسي فيلڊ آئنز جي ڪلسترنگ تي گهٽ اثر وجهندي آهي ڇاڪاڻ ته لارمور ريڊيس ۾ آئنز ۽ اليڪٽرانن جي وچ ۾ فرق جي ڪري.بهرحال، جڏهن اليڪٽران جي حرڪت مقناطيسي فلٽر ڊيوائس جي محور سان ٿيندي، ته اهو محوري محوري لاءِ آئن کي متوجه ڪندو ان جي توجهه ۽ مضبوط منفي برقي فيلڊ جي ڪري، ۽ اليڪٽران جي رفتار آئن کان وڌيڪ هوندي، تنهنڪري اليڪٽران آئن کي مسلسل اڳتي وڌايو، جڏهن ته پلازما هميشه برقي طور تي غير جانبدار رهي ٿو.وڏا ذرات برقي طور تي غير جانبدار يا ٿورڙي منفي طور تي چارج ٿيل آهن، ۽ معيار آئنز ۽ اليڪٽرانن کان تمام گهڻو وڏو آهي، بنيادي طور تي مقناطيسي فيلڊ ۽ لڪير واري حرڪت کان متاثر نه ٿيندا آهن، ۽ ان جي اندروني ڀت سان ٽڪرڻ کان پوء فلٽر ڪيو ويندو. ڊوائيس.
موڙيندڙ مقناطيسي فيلڊ وکر جي گڏيل فنڪشن ۽ گريجوئيٽ drift ۽ آئن-اليڪٽران تصادم جي تحت، پلازما کي مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس ۾ ڦهلائي سگهجي ٿو.عام نظرياتي ماڊل ۾ اڄ استعمال ٿيل آهن موروزوف فلڪس ماڊل ۽ ڊيوڊسن ريگيڊ روٽر ماڊل، جن ۾ هيٺيون عام خصوصيتون آهن: اتي هڪ مقناطيسي ميدان آهي جيڪو اليڪٽران کي سختي سان هلڪي انداز ۾ حرڪت ڪري ٿو.
مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس ۾ پلازما جي محوري حرڪت جي رهنمائي ڪرڻ واري مقناطيسي فيلڊ جي طاقت اهڙي هجڻ گهرجي:

Mi، Vo، ۽ Z آهن آئن ماس، ٽرانسپورٽ جي رفتار، ۽ چارجن جو تعداد.a مقناطيسي فلٽر جو اندروني قطر آهي، ۽ e اليڪٽران چارج آهي.
اهو ياد رکڻ گهرجي ته ڪجهه اعلي توانائي آئن مڪمل طور تي اليڪٽران بيم طرفان پابند نه ٿي سگهن.اهي مقناطيسي فلٽر جي اندروني ڀت تائين پهچي سگهن ٿا، اندروني ديوار کي مثبت صلاحيت تي ٺاهيندي، جنهن جي نتيجي ۾ آئنز کي اندروني ڀت تائين پهچڻ کان روڪي ٿو ۽ پلازما جي نقصان کي گهٽائي ٿو.
هن رجحان جي مطابق، مقناطيسي فلٽر ڊوائيس جي ڀت تي هڪ مناسب مثبت تعصب دٻاء لاڳو ڪري سگهجي ٿو ته آئنز جي ٽڪر کي روڪڻ لاء ٽارگيٽ آئن ٽرانسپورٽ ڪارڪردگي کي بهتر ڪرڻ لاء.

مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جي درجه بندي
(1) لڪير جي جوڙجڪ.مقناطيسي ميدان آئن بيم جي وهڪري لاءِ گائيڊ طور ڪم ڪري ٿو، ڪيٿوڊ اسپاٽ جي سائيز کي گھٽائي ٿو ۽ ميڪرو اسڪوپيڪ ذرڙن جي ڪلستر جو تناسب، جڏهن ته پلازما جي اندر ٽڪرن کي تيز ڪري ٿو، غير جانبدار ذرات کي آئنز ۾ تبديل ڪرڻ ۽ ميڪرو اسڪوپي جي تعداد کي گھٽائي ٿو. ذرڙن جا ڪلستر، ۽ تيزيءَ سان وڏن ذرڙن جو تعداد گھٽائي ٿو جيئن مقناطيسي فيلڊ جي قوت وڌائي ٿي.روايتي ملٽي آرڪ آئن ڪوٽنگ جي طريقي جي مقابلي ۾، هي منظم ڊوائيس ٻين طريقن جي ڪري ڪارڪردگي ۾ اهم گهٽتائي کي ختم ڪري ٿو ۽ بنيادي طور تي مسلسل فلم جمع ڪرڻ جي شرح کي يقيني بڻائي سگهي ٿو جڏهن ته وڏي ذرات جي تعداد کي 60٪ گھٽائي ٿو.
(2) وکر جي قسم جي جوڙجڪ.جيتوڻيڪ ڍانچي جون مختلف صورتون آهن، پر بنيادي اصول ساڳيو آهي.پلازما مقناطيسي فيلڊ ۽ برقي ميدان جي گڏيل ڪم جي تحت حرڪت ڪندو آهي، ۽ مقناطيسي فيلڊ کي مقناطيسي قوت لائينز جي هدايت سان حرڪت کي ڦهلائڻ کان سواء پلازما کي محدود ۽ ڪنٽرول ڪرڻ لاء استعمال ڪيو ويندو آهي.۽ اڻ چارج ٿيل ذرات لڪير سان گڏ هلندا ۽ الڳ ٿي ويندا.هن ساخت جي ڊوائيس پاران تيار ڪيل فلمن ۾ تمام گهڻي سختي، گهٽ سطح جي خرابي، سٺي کثافت، يونيفارم اناج جي سائيز، ۽ مضبوط فلم بيس آسنجن آهي.XPS تجزيي ڏيکاري ٿي ته هن قسم جي ڊوائيس سان ٺهيل ta-C فلمن جي مٿاڇري جي سختي 56 GPa تائين پهچي سگهي ٿي، اهڙيء طرح گھميل ساخت وارو اوزار وڏي ذخيري کي هٽائڻ لاء سڀ کان وڏي پيماني تي استعمال ٿيل ۽ موثر طريقو آهي، پر ٽارگيٽ آئن ٽرانسپورٽ ڪارڪردگي جي ضرورت آهي. وڌيڪ بهتر.90 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس سڀ کان وڏي پيماني تي استعمال ٿيل وکر ساخت جي ڊوائيسز مان هڪ آهي.Ta-C فلمن جي مٿاڇري جي پروفائيل تي تجربا ڏيکاريا ويا آهن ته 360 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس جي مٿاڇري جو پروفائل 90 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جي مقابلي ۾ گهڻو تبديل نه ٿيندو آهي، تنهنڪري 90 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن جو اثر بنيادي طور تي وڏي ذرات لاءِ ٿي سگهي ٿو. حاصل ڪيو.90 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس ۾ بنيادي طور تي ٻن قسمن جا ڍانچا هوندا آهن: هڪ بينڊ سولينائيڊ آهي جيڪو ويڪيوم چيمبر ۾ رکيل آهي، ۽ ٻيو ويڪيوم چيمبر کان ٻاهر رکيل آهي، ۽ انهن جي وچ ۾ فرق صرف ساخت ۾ آهي.90 ° موڙي مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس جو ڪم ڪندڙ دٻاء 10-2Pa جي ترتيب ۾ آهي، ۽ اهو ايپليڪيشنن جي وسيع رينج ۾ استعمال ڪري سگهجي ٿو، جهڙوڪ ڪوٽنگ نائٽرائڊ، آڪسائيڊ، بيڪار ڪاربن، سيمي ڪنڊڪٽر فلم ۽ ڌاتو يا غير ڌاتو فلم. .

مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جي ڪارڪردگي
جيئن ته سڀئي وڏا ذرڙا ڀت سان لڳاتار ٽڪراءَ ۾ متحرڪ توانائي وڃائي نٿا سگهن، ان ڪري هڪ خاص تعداد ۾ وڏا ذرڙا پائيپ آئوٽليٽ ذريعي سبسٽرٽ تائين پهچندا.تنهن ڪري، هڪ ڊگهو ۽ تنگ مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس وڏي ذرڙن جي اعلي فلٽريشن ڪارڪردگي آهي، پر هن وقت اهو ٽارگيٽ آئنز جي نقصان کي وڌائيندو ۽ ساڳئي وقت ساخت جي پيچيدگي کي وڌائيندو.تنهن ڪري، انهي ڳالهه کي يقيني بڻائڻ ته مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس ۾ شاندار وڏي ذخيري کي هٽائڻ ۽ آئن ٽرانسپورٽ جي اعلي ڪارڪردگي هڪ ضروري شرط آهي ملٽي آرڪ آئن ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي لاء اعلي ڪارڪردگي پتلي فلمن کي جمع ڪرڻ ۾ وسيع ايپليڪيشن جو امڪان آهي.مقناطيسي فلٽريشن ڊيوائس جو آپريشن مقناطيسي فيلڊ جي طاقت، موڙي تعصب، ميڪيڪل بيفل ايپرچر، آرڪ سورس ڪرنٽ ۽ چارج ٿيل ذرو واقعن واري زاويه کان متاثر ٿئي ٿو.مقناطيسي فلٽريشن ڊوائيس جي مناسب پيٽرولن کي ترتيب ڏيڻ سان، وڏن ذرات جي فلٽرنگ اثر ۽ ٽارگيٽ جي آئن جي منتقلي جي ڪارڪردگي کي بهتر بڻائي سگهجي ٿو.