magnetron sputtering ۽ ڪيٿوڊڪ ملٽي آرڪ آئن ڪوٽنگ جو جامع ڪوٽنگ سامان الڳ الڳ ۽ گڏو گڏ ڪم ڪري سگھي ٿو.جمع ٿي سگهي ٿو ۽ تيار خالص ڌاتو فلم، ڌاتو مرڪب فلم يا جامع فلم؛فلم جي ھڪڙي پرت ۽ ھڪڙي پرت جامع فلم ٿي سگھي ٿي.
هن جا فائدا هيٺ ڏنل آهن:
اهو نه صرف مختلف آئن ڪوٽنگن جي فائدن کي گڏ ڪري ٿو ۽ ايپليڪيشن جي مختلف شعبن لاءِ پتلي فلم جي تياري ۽ جمع ڪرڻ کي به مدنظر رکي ٿو، پر ان کي به هڪ ئي خلا ۾ ملٽي ليئر مونوليٿڪ فلمن يا ملٽي ليئر جامع فلمن جي جمع ۽ تياري جي اجازت ڏئي ٿو. هڪ وقت ۾ ڪوٽنگ چيمبر.
جمع ٿيل فلم جي پرت جي ايپليڪيشنن کي وڏي پيماني تي استعمال ڪيو ويو آهي ان جي ٽيڪنالاجيون مختلف قسمن ۾ آهن، عام طور تي هيٺيان آهن:
(1) مرڪب غير برابري واري ميگنيٽران اسپٽرنگ ۽ ڪيٿوڊڪ آئن پليٽنگ ٽيڪنالاجي.
هن جي ڊوائس هيٺ ڏيکاريل آهي.اهو هڪ مرڪب ڪوٽنگ جو سامان آهي ڪالمنر ميگنيٽران ٽارگيٽ ۽ پلانر ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ، جيڪو ٻنهي ٽول ڪوٽنگ مرڪب فلم ۽ آرائشي فلم ڪوٽنگ لاءِ موزون آهي.ٽول ڪوٽنگ لاءِ، ڪيٿوڊڪ آرڪ آئن ڪوٽنگ پهريون استعمال ڪيو ويندو آهي بنيادي پرت جي ڪوٽنگ لاءِ، ۽ پوءِ ڪالمن ميگنيٽرون ٽارگيٽ نائٽرائڊ ۽ ٻين فلمي تہن کي جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي ته جيئن اعليٰ صحت واري پروسيسنگ ٽول سطح جي فلم حاصل ڪئي وڃي.
آرائشي ڪوٽنگ لاءِ، TiN ۽ ZrN آرائشي فلمن کي پهرين ڪئٿوڊڪ آرڪ ڪوٽنگ ذريعي جمع ڪري سگهجي ٿو، ۽ پوءِ ميگنيٽرون ٽارگيٽ استعمال ڪندي ڌاتو سان ڊاپ ڪيو وڃي ٿو، ۽ ڊاپنگ اثر تمام سٺو آهي.
(2) ٽوئن جهاز ميگنيٽرون ۽ ڪالمن ڪيٿوڊ آرڪ آئن ڪوٽنگ ٽيڪنڪ جو مرڪب.ڊوائيس هيٺ ڏنل ڏيکاريل آهي.اهو ترقي يافته ٽوئن ٽارگيٽ ٽيڪنالاجي استعمال ڪيو ويو آهي، جڏهن ٻه طرفي طرف جا ٽوئن هدف وچولي فريڪئنسي پاور سپلائي سان ڳنڍيل آهن، اهو نه رڳو ڊي سي اسپٽرنگ، باهه ۽ ٻين خرابين جي ٽارگيٽ زهر کي ختم ڪري ٿو.۽ جمع ڪري سگهي ٿو Al203، SiO2 آڪسائيڊ معيار فلم، ته جيئن coated حصن جي oxidation مزاحمت وڌي ويا آهن ۽ بهتر.ڪالمنر ملٽي آرڪ ٽارگيٽ ويڪيوم چيمبر جي مرڪز ۾ نصب ڪيو ويو آهي، ٽارگيٽ مواد استعمال ڪري سگهجي ٿو Ti ۽ Zr، نه رڳو اعلي ملٽي آرڪ ڊسڪشن جي شرح، جمع ڪرڻ جي شرح جي فائدن کي برقرار رکڻ لاء، پر اهو پڻ مؤثر طريقي سان گهٽائي سگھي ٿو "بوندن" ۾. ننڍي جهاز جي ملٽي آرڪ ٽارگيٽ جمع ڪرڻ جو عمل، ميٽيل فلمن، مرڪب فلمن جي گھٽ پورسيٽي کي جمع ۽ تيار ڪري سگھي ٿو.جيڪڏھن Al ۽ Si کي ھدف واري مواد طور استعمال ڪيو وڃي ٿو ٽوئن پلانر ميگنيٽران ھدف لاءِ جيڪي پردي تي نصب ٿيل آھن، Al203 يا Si0 ڌاتو-سيرامڪ فلمون جمع ۽ تيار ڪري سگھجن ٿيون.ان کان علاوه، گھڻن ننڍن جهازن جي گھڻ-آرڪ evaporation ذريعن جي پردي تي نصب ٿي سگھي ٿو، ۽ ان جو ٽارگيٽ مواد Cr يا Ni ٿي سگھي ٿو، ۽ دھاتي فلمون ۽ ملٽي ليئر جامع فلمون جمع ۽ تيار ڪري سگھجن ٿيون.تنهن ڪري، هي جامع ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي ڪيترن ئي ايپليڪيشنن سان گڏ هڪ جامع ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي آهي.
پوسٽ جو وقت: نومبر-08-2022