حرارتي طور تي پرجوش ڪيميائي وانپ جمع

عام طور تي CVD ردعمل تيز گرمي پد تي ڀاڙين ٿا، ان ڪري سڏيو ويندو آهي Thermally excited chemical vapor deposition (TCVD).اهو عام طور تي غير نامياتي اڳوڻن کي استعمال ڪندو آهي ۽ گرم ڀت ۽ ٿڌي ڀت ري ايڪٽرن ۾ ڪيو ويندو آهي.ان جي گرم طريقن ۾ ريڊيو فريڪوئنسي (آر ايف) حرارتي، انفراريڊ تابڪاري حرارتي، مزاحمتي حرارتي، وغيره شامل آهن.

گرم ديوار ڪيميائي وانپ جمع
دراصل، گرم ڀت ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ وارو ري ايڪٽر هڪ thermostatic فرنس آهي، عام طور تي مزاحمتي عنصرن سان گرم ڪيو ويندو آهي، وقفي وقفي سان پيداوار لاءِ.چپ ٽول ڪوٽنگ لاءِ گرم ڀت جي ڪيميائي وانپ جمع ڪرڻ جي پيداوار جي سهولت جي ڊرائنگ هيٺ ڏنل ڏيکاريل آهي.هي گرم ڀت ڪيميائي وانپ جو ذخيرو TiN، TiC، TiCN ۽ ٻين پتلي فلمن کي کوٽ ڪري سگهي ٿو.ري ايڪٽر کي ڪافي وڏي ڪرڻ لاءِ ڊزائين ڪري سگھجي ٿو ۽ پوءِ وڏي تعداد ۾ اجزاء رکيا وڃن، ۽ حالتن کي ذخيرو ڪرڻ لاءِ بلڪل صحيح طور تي ڪنٽرول ڪري سگھجي ٿو.Pic 1 ڏيکاري ٿو هڪ epitaxial پرت ڊيوائس لاءِ سيمڪانڊڪٽر ڊيوائس جي پيداوار جي سلکان ڊاپنگ لاءِ.فرنس ۾ ذيلي ذخيرو عمودي طرف رکيل آهي ته جيئن ذخيري جي مٿاڇري جي آلودگي کي گھٽائي سگهجي، ۽ پيداوار جي لوڊشيڊنگ کي تمام گهڻو وڌايو وڃي.سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ گرم ڀت ري ايڪٽر عام طور تي گهٽ دٻاءُ تي هلندا آهن.