ලිපි මූලාශ්‍රය: ෂෙන්හුවා රික්තකය
කියවන්න:10
ප්‍රකාශිත:22-11-07
දේදුන්න වර්ණ ආලේප කිරීම සඳහා ස්පුටර් ආලේපන යන්ත්රය
Magnetron sputtering යනු භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් වීමකි.සාමාන්ය sputtering ක්රමය ලෝහ, අර්ධ සන්නායක, පරිවාරක සහ අනෙකුත් ද්රව්ය ආලේප කිරීම සඳහා භාවිතා කළ හැකි අතර, විශාල පැටවුම් ධාරිතාව ලක්ෂණ ඇත , ක්රියාත්මක කිරීමට පහසු, ආෙල්පන චිත්රපටය ඉතා සියුම් හා සිනිඳුයි, හොඳ ඇලවීම සහ එසේ ය.Magnetron sputtering මඟින් ඉලක්කයේ කැතෝඩ මතුපිටට චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක් හඳුන්වා දීමෙන් සහ ප්ලාස්මා ඝනත්වය වැඩි කිරීම සඳහා ආරෝපිත අංශු මත ඇති චුම්බක ක්ෂේත්‍රයේ සීමාව භාවිතා කිරීමෙන් ඉසීමේ වේගය වැඩි කළ හැක.සම්පූර්ණ මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් වැකුම් ආලේපන යන්ත්‍රයක් බොහෝ කොටස් වලින් සමන්විත වන අතර, එක් එක් පද්ධතිය විවිධ කාර්යයන් සම්පූර්ණ කරන අතර අවසානයේ අවසාන උසස් තත්ත්වයේ ආලේපනය ලබා ගනී.මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් දෘෂ්‍ය ආලේපන උපකරණ රික්ත කුටීරය, කපාටය, රික්ත පොම්ප පද්ධතිය, රික්ත මිනුම් පද්ධතිය, කැතෝඩ ඉලක්කය, චිත්‍රපට ඝනකම මානය, විද්‍යුත් වායු පාලන පද්ධතිය යනාදියකින් සමන්විත වේ. මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් කෝටරයේ ප්‍රධාන අංගය වන්නේ රික්ත කුටීරයයි. නිෂ්පාදන උපස්ථරයේ ප්‍රමාණය සහ පරිශීලකයාගේ ධාරිතාව අනුව ප්‍රමාණය තීරණය වේ.මෙම කුටිය SUS304 මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇති අතර එය මල බැඳීමට පහසු නැත, කාබන් වානේ වලට වඩා කල් පවතින අතර නඩත්තු කිරීමට පහසුය.යන්ත්රය විසින් මධ්‍යම සංඛ්‍යාත ස්පුටරින් ආලේපන තාක්‍ෂණය, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් සහ නයෝබියම් ඔක්සයිඩ් වැනි ඔක්සයිඩ් ද්රව්ය සමඟ ආලේපනය, දෘශ්‍ය අලංකාර පටලයක් සෑදීම සඳහා චිත්‍රපට ඝණත්වය මැනීම.මැග්නට්‍රෝන් ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් ආලේපන යන්ත්‍රයෙන් සාදන ලද චිත්රපටය ශක්තිමත් ඇලීමක් සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුක්ත වන අතර විවිධ සංරචක සහිත විවිධ ද්රව්ය සමඟ එකවර ඉසිය හැක.
ක්‍රමයෙන් වර්ණය වෙනස් කිරීමේ ක්‍රියාවලිය සාමාන්‍යයෙන් සිදු කරනු ලබන්නේ මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් ආලේපන යන්ත්රය මගිනි.වර්තමානයේ, බොහෝ ජංගම දුරකථන වල පිටුපස කවරය PVD රික්තක ආලේපනය ක්‍රමයෙන් වර්ණ වෙනස් කිරීමේ ක්‍රියාවලියක් අනුගමනය කරයි.ඇත්ත වශයෙන්ම, දෘෂ්‍ය ආලේපන යන්ත්රය සහ වාෂ්පීකරණ ආලේපන යන්ත්‍රයට සමාන දේදුන්න හත වර්ණ බලපෑමක් ඇති කළ හැකි නමුත් වර්ණ සාමාන්ය ශ්‍රේණි නොවන අතර තවමත් ගුණාත්මක භාවයේ වෙනස්කම් ඇත.Magnetron sputtering යනු භෞතික වාෂ්ප තැන්පත් වීමකි.සාමාන්ය sputtering ක්රමය ලෝහ, අර්ධ සන්නායක, පරිවාරක සහ අනෙකුත් ද්රව්ය ආලේප කිරීම සඳහා භාවිතා කළ හැකි අතර, විශාල පැටවුම් ධාරිතාව ලක්ෂණ ඇත , ක්රියාත්මක කිරීමට පහසු, ආෙල්පන චිත්රපටය ඉතා සියුම් හා සිනිඳුයි, හොඳ ඇලවීම සහ එසේ ය.
Magnetron sputtering මඟින් ඉලක්කයේ කැතෝඩ මතුපිටට චුම්බක ක්ෂේත්‍රයක් හඳුන්වා දීමෙන් සහ ප්ලාස්මා ඝනත්වය වැඩි කිරීම සඳහා ආරෝපිත අංශු මත ඇති චුම්බක ක්ෂේත්‍රයේ සීමාව භාවිතා කිරීමෙන් ඉසීමේ වේගය වැඩි කළ හැක.සම්පූර්ණ මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් වැකුම් ආලේපන යන්ත්‍රයක් බොහෝ කොටස් වලින් සමන්විත වන අතර, එක් එක් පද්ධතිය විවිධ කාර්යයන් සම්පූර්ණ කරන අතර අවසානයේ අවසාන උසස් තත්ත්වයේ ආලේපනය ලබා ගනී.මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් ආලේපන උපකරණ රික්තක කුටීරය, කපාටය, රික්ත පොම්ප පද්ධතිය, රික්ත මිනුම් පද්ධතිය, කැතෝඩ ඉලක්කය, චිත්‍රපට ඝනකම මැනීම, විද්‍යුත් වායුමය පාලන පද්ධතිය ආදියෙන් සමන්විත වේ.
මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් කෝටරයේ ප්‍රධාන ශරීරය රික්ත කුටීරය වේ, ප්‍රමාණය තීරණය වන්නේ නිෂ්පාදන උපස්ථරයේ ප්‍රමාණය සහ පරිශීලකයාගේ ධාරිතාව අනුව ය.මෙම කුටිය SUS304 මල නොබැඳෙන වානේ වලින් සාදා ඇති අතර එය මල බැඳීමට පහසු නැත, කාබන් වානේ වලට වඩා කල් පවතින අතර නඩත්තු කිරීමට පහසුය.යන්ත්රය විසින් මධ්‍යම සංඛ්‍යාත ස්පුටරින් ආලේපන තාක්‍ෂණය, සිලිකන් ඔක්සයිඩ් සහ නයෝබියම් ඔක්සයිඩ් වැනි ඔක්සයිඩ් ද්රව්ය සමඟ ආලේපනය, දෘශ්‍ය අලංකාර පටලයක් සෑදීම සඳහා චිත්‍රපට ඝණත්වය මැනීම.මැග්නට්‍රෝන් ස්පුටරින් ඔප්ටිකල් ආලේපන යන්ත්‍රයෙන් සාදන ලද චිත්රපටය ශක්තිමත් ඇලීමක් සහ ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුක්ත වන අතර විවිධ සංරචක සහිත විවිධ ද්රව්ය සමඟ එකවර ඉසිය හැක.