රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීමේ උපකරණවල රික්ත ආලේපන කුටිය ස්වාධීන ද්විත්ව ස්ථර ජල සිසිලන ව්යුහයක් අනුගමනය කරයි, එය සිසිලනය කිරීමේදී කාර්යක්ෂම හා ඒකාකාරී වන අතර ආරක්ෂිත සහ ස්ථාවර ව්යුහයක් ඇත.උපකරණ ද්විත්ව දොරවල්, බහු නිරීක්ෂණ කවුළු සහ බහු විස්තාරණ අතුරුමුහුණත් සමඟ නිර්මාණය කර ඇති අතර, අධෝරක්ත උෂ්ණත්ව මැනීම, වර්ණාවලි විශ්ලේෂණය, වීඩියෝ නිරීක්ෂණ සහ තාපකූල් වැනි සහායක පර්යන්ත බාහිර සම්බන්ධතා සඳහා පහසු වේ.උසස් නිර්මාණ සංකල්පය මඟින් උපකරණවල දෛනික අලුත්වැඩියාව සහ නඩත්තුව, වින්යාසය වෙනස් කිරීම සහ වැඩිදියුණු කිරීම පහසු සහ සරල කරන අතර, භාවිතය සහ වැඩිදියුණු කිරීමේ පිරිවැය ඵලදායී ලෙස අඩු කරයි.
උපකරණ විශේෂාංග:
1.උපකරණවල උද්ධමන සංරචක ප්රධාන වශයෙන් ස්කන්ධ ප්රවාහ මීටරය, සොලෙනොයිඩ් කපාටය සහ ගෑස් මිශ්ර කිරීමේ ටැංකිය ඇතුළත් වන අතර එමඟින් ක්රියාවලි වායු ප්රවාහය නිවැරදිව පාලනය කිරීම, ඒකාකාරී මිශ්ර කිරීම සහ විවිධ වායූන් ආරක්ෂිතව හුදකලා කිරීම සහතික කරන අතර භාවිතය සඳහා ගෑස් පද්ධති සංරචක තෝරා ගත හැකිය. ද්රව වායු ප්රභවය, පුළුල් පරාසයක ද්රව කාබන් ප්රභවයන් පුද්ගලීකරණය කිරීමට පහසුකම් සැලසීම සහ කෘතිම සන්නායක දියමන්ති සහ ඉලෙක්ට්රෝඩ ද්රව බෝරෝන් ප්රභවයන් ආරක්ෂිතව භාවිතා කිරීම.
2. වායු නිස්සාරණය එකලස් කිරීම නිශ්ශබ්ද හා කාර්යක්ෂම භ්රමණ වෑන් රික්තක පොම්පයක් සහ ඉහළ රික්ත පසුබිම් පරිසරයක් ඉක්මනින් සපුරාලිය හැකි ටර්බෝ අණුක පොම්ප පද්ධතියකින් සමන්විත වේ.ප්රතිරෝධක මානය සහ අයනීකරණ මානය සහිත සංයුක්ත රික්ත මාපකය රික්ත මැනීම සඳහා මෙන්ම පුළුල් පරාසයක විවිධ ක්රියාවලි වායූන්ගේ පීඩනය මැනිය හැකි ධාරිත්රක චිත්රපට මාපක පද්ධතිය භාවිතා කරයි.අධි-නිරවද්ය සමානුපාතික පාලන කපාටයක් මඟින් තැන්පත් පීඩනය සම්පූර්ණයෙන්ම ස්වයංක්රීයව පාලනය වේ.
3.සිසිලන ජල සංරචකය බහු-නාලිකා ජල පීඩනය, ප්රවාහ, උෂ්ණත්වය මැනීම සහ මෘදුකාංග ස්වයංක්රීය අධීක්ෂණ වලින් සමන්විත වේ.විවිධ සිසිලන සංරචක එකිනෙකින් ස්වායත්ත වන අතර එය ඉක්මන් දෝෂ නිර්ණය සඳහා පහසු වේ.සියලුම ශාඛා ස්වාධීන කපාට ස්විචයන් ඇති අතර එය ආරක්ෂිත සහ කාර්යක්ෂම වේ.
4.විද්යුත් පාලන සංරචක විශාල ප්රමාණයේ මිනිසා-මැෂින් අතුරුමුහුණත LCD තිරය භාවිතා කරන අතර ක්රියාවලි සූත්රය සංස්කරණය කිරීම සහ ආනයනය කිරීම පහසු කිරීම සඳහා PLC පූර්ණ-ස්වයංක්රීය පාලනය සමඟ සහයෝගයෙන් කටයුතු කරයි.චිත්රක වක්රය මඟින් විවිධ පරාමිතිවල වෙනස්කම් සහ අගයන් දෘෂ්යව ප්රදර්ශනය කරන අතර, ගැටළු සෙවීමට සහ දත්ත සංඛ්යාන විශ්ලේෂණයට පහසුකම් සැලසීම සඳහා උපකරණ සහ ක්රියාවලි පරාමිතීන් ස්වයංක්රීයව පටිගත කර සංරක්ෂණය කෙරේ.
5. වැඩ ෙකොටස් රාක්කය උපස්ථර වගුව එසවීම සහ පහත් කිරීම පාලනය කිරීම සඳහා සර්වෝ මෝටරයකින් සමන්විත වේ.ග්රැෆයිට් හෝ රතු තඹ උපස්ථර වගුව තෝරා ගත හැකිය.උෂ්ණත්වය මනිනු ලබන්නේ තාපකයක් මගිනි.
6. පාරිභෝගිකයින්ගේ විශේෂ හැසිරවීමේ අවශ්යතා සපුරාලීම සඳහා රාක්ක සංරචක සමස්තයක් ලෙස හෝ පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව වෙන වෙනම නිර්මාණය කළ හැකිය.
7.The sealing plate සංරචක අලංකාර සහ අලංකාර වේ.උපකරණවල විවිධ ක්රියාකාරී මොඩියුල ප්රදේශවල මුද්රා තැබීමේ තහඩු ඉක්මනින් විසුරුවා හැර හෝ ස්වාධීනව විවෘත කර වසා දැමිය හැකි අතර එය භාවිතා කිරීමට ඉතා පහසු වේ.
තුනී පටල ආලේපනය, ස්වයං ආධාරක ඝන පටල, ක්ෂුද්ර ස්ඵටික සහ නැනෝ ස්ඵටික දියමන්ති, සන්නායක දියමන්ති යනාදිය ඇතුළුව දියමන්ති ද්රව්ය තැන්පත් කිරීම සඳහා උණුසුම් සූතිකා CVD උපකරණ සුදුසු වේ. එය ප්රධාන වශයෙන් සිමෙන්ති කාබයිඩ් කැපුම් මෙවලම්, අර්ධ සන්නායක ද්රව්යවල ඇඳුම්-ප්රතිරෝධී ආරක්ෂිත ආලේපනය සඳහා යොදා ගනී. සිලිකන් සහ සිලිකන් කාබයිඩ්, උපාංගවල තාප විසර්ජන ආලේපනය, බෝරෝන් මාත්රණය කළ සන්නායක දියමන්ති ඉලෙක්ට්රෝඩය, විද්යුත් විච්ඡේදක ජලය ඕසෝන් විෂබීජ නාශක හෝ අපජල පවිත්ර කිරීම වැනි.
විකල්ප ආකෘති | අභ්යන්තර කුටියේ ප්රමාණය |
HFCVD0606 | φ600*H600(මි.මී.) |