CVD ආලේපන තාක්ෂණයට පහත ලක්ෂණ ඇත:
1. CVD උපකරණවල ක්‍රියාවලි ක්‍රියාකාරිත්වය සාපේක්ෂ වශයෙන් සරල සහ නම්‍යශීලී වන අතර එයට විවිධ අනුපාත සහිත තනි හෝ සංයුක්ත චිත්‍රපට සහ මිශ්‍ර ලෝහ පටල සකස් කළ හැක;
2. CVD ආෙල්පනය පුළුල් පරාසයක යෙදුම් ඇති අතර, විවිධ ෙලෝහ ෙහෝ ෙලෝහ පටල ආෙල්පන සකස් කිරීමට භාවිතා කළ හැකිය;
3. මිනිත්තුවකට මයික්‍රෝන කිහිපයක සිට මයික්‍රෝන සිය ගණනක් දක්වා වූ තැන්පත් වීමේ අනුපාත හේතුවෙන් ඉහළ නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව;
4. PVD ක්‍රමය හා සසඳන විට, CVD වඩා හොඳ විවර්තන කාර්ය සාධනයක් ඇති අතර, කට්ට, ආලේපිත සිදුරු සහ අන්ධ සිදුරු ව්‍යුහයන් වැනි සංකීර්ණ හැඩතල සහිත උපස්ථර ආලේප කිරීම සඳහා ඉතා සුදුසු වේ.ආලේපනය හොඳ සංයුක්තතාවයක් සහිත චිත්රපටයක් බවට පත් කළ හැකිය.චිත්‍රපට සෑදීමේ ක්‍රියාවලියේදී පවතින අධික උෂ්ණත්වය සහ චිත්‍රපට උපස්ථර අතුරුමුහුණත මත ඇති දැඩි ඇලීම නිසා චිත්‍රපට ස්තරය ඉතා ස්ථීර වේ.
5. විකිරණ මගින් සිදුවන හානිය සාපේක්ෂව අඩු වන අතර MOS ඒකාබද්ධ පරිපථ ක්රියාවලීන් සමඟ ඒකාබද්ධ කළ හැක.
——මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua, aවැකුම් ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා
පසු කාලය: මාර්තු-29-2023