① චිත්‍රපට ඝනකමේ හොඳ පාලනයක් සහ පුනරාවර්තන හැකියාව
චිත්‍රපට ඝනකම කලින් තීරණය කළ අගයකින් පාලනය කළ හැකිද යන්න චිත්‍රපට ඝනකම පාලනය ලෙස හැඳින්වේ.අවශ්‍ය පටල ඝනකම බොහෝ වාර ගණනක් පුනරාවර්තනය කළ හැකි අතර එය චිත්‍රපට ඝණකම පුනරාවර්තනය ලෙස හැඳින්වේ. රික්ත ස්පුටරින් ආලේපනයේ විසර්ජන ධාරාව සහ ඉලක්ක ධාරාව වෙන වෙනම පාලනය කළ හැකි බැවිනි.එබැවින්, ඉසින ලද චිත්රපටයේ ඝණකම පාලනය කළ හැකි අතර, කලින් තීරණය කළ ඝණකම සහිත චිත්රපටය විශ්වාසදායක ලෙස තැන්පත් කළ හැකිය.මීට අමතරව, ස්පුටර් ආලේපනය විශාල මතුපිටක් මත ඒකාකාර ඝණකම සහිත චිත්රපටයක් ලබා ගත හැකිය.
② චිත්රපටය සහ උපස්ථරය අතර ශක්තිමත් ඇලවීම
ඉසින ලද පරමාණුවල ශක්තිය වාෂ්පීකරණය වූ පරමාණුවලට වඩා විශාලත්වයේ 1-2 කින් වැඩි වේ.උපස්ථරය මත තැන්පත් වී ඇති අධි ශක්ති ඉසින ලද පරමාණුවල ශක්ති පරිවර්තනය වාෂ්පීකරණය වූ පරමාණුවලට වඩා බෙහෙවින් වැඩි වන අතර එමඟින් ඉහළ තාපයක් ජනනය වන අතර ඉසින ලද පරමාණු සහ උපස්ථරය අතර ඇලීම වැඩි කරයි.මීට අමතරව, සමහර අධි ශක්ති ඉසින ලද පරමාණු විවිධ මට්ටමේ එන්නත් නිපදවයි, උපස්ථරය මත ව්‍යාජ විමෝචන ස්ථරයක් සාදයි.මීට අමතරව, චිත්‍රපට සෑදීමේ ක්‍රියාවලියේදී උපස්ථරය සෑම විටම ප්ලාස්මා කලාපයේ පිරිසිදු කර සක්‍රිය කර ඇති අතර එමඟින් දුර්වල මැලියම් සහිත ස්පටරං පරමාණු ඉවත් කර උපස්ථර මතුපිට පිරිසිදු කර සක්‍රීය කරයි.එමනිසා, ඉසින ලද චිත්රපටය උපස්ථරයට ශක්තිමත් ඇලවීමක් ඇත.
③ ඉලක්කයට වඩා වෙනස් නව ද්රව්ය චිත්රපටයක් සකස් කළ හැක
ඉලක්කය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කිරීම සඳහා ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුව ඉසිලීමේදී හඳුන්වා දෙන්නේ නම්, ඉලක්කයට වඩා සම්පූර්ණයෙන්ම වෙනස් නව ද්රව්ය පටලයක් ලබා ගත හැකිය.නිදසුනක් ලෙස, සිලිකන් ඉසින ඉලක්කය ලෙස භාවිතා කරන අතර ඔක්සිජන් සහ ආගන් රික්තක කුටියට එකට දමනු ලැබේ.ඉසීමෙන් පසු, SiOz පරිවාරක චිත්රපටයක් ලබා ගත හැකිය.ටයිටේනියම් ඉසින ඉලක්කය ලෙස භාවිතා කරමින්, නයිට්‍රජන් සහ ආගන් රික්තක කුටියට එකට දමන අතර, ස්පටරීමෙන් පසු අදියර TiN රන් වැනි පටලයක් ලබා ගත හැක.
④ ඉහළ සංශුද්ධතාවය සහ හොඳ තත්ත්වයේ චිත්‍රපට
ස්පුටර් ෆිල්ම් සකස් කිරීමේ උපාංගයේ කූරු සංරචකයක් නොමැති බැවින්, කෲසිබල් හීටර් ද්රව්යයේ සංරචක ස්පටරං පටල ස්ථරයේ මිශ්ර නොවේ.ස්පුටරින් ආලේපනයේ අවාසි වන්නේ වාෂ්පීකරණ ආලේපනයට වඩා චිත්රපටය සෑදීමේ වේගය මන්දගාමී වීම, උපස්ථර උෂ්ණත්වය වැඩි වීම, අපිරිසිදු වායුව මගින් බලපෑමට ලක්වීම පහසු වන අතර උපාංග ව්යුහය වඩාත් සංකීර්ණ වේ.
මෙම ලිපිය නිෂ්පාදකයෙකු වන Guangdong Zhenhua විසින් ප්‍රකාශයට පත් කර ඇතරික්ත ආලේපන උපකරණ
පසු කාලය: මාර්තු-09-2023