1. වැඩ කොටස් නැඹුරුව අඩුයි
අයනීකරණ අනුපාතය වැඩි කිරීම සඳහා උපකරණයක් එකතු කිරීම හේතුවෙන්, විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය වැඩි වන අතර, පක්ෂග්රාහී වෝල්ටීයතාවය 0.5 ~ 1kV දක්වා අඩු වේ.
අධි ශක්ති අයන අධික ලෙස බෝම්බ හෙලීම නිසා ඇති වන backsputtering සහ වැඩ ෙකොටස් මතුපිට හානි බලපෑම අඩු වේ.
2. ප්ලාස්මා ඝනත්වය වැඩි වීම
ඝට්ටන අයනීකරණය ප්රවර්ධනය කිරීම සඳහා විවිධ පියවර එකතු කර ඇති අතර, ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය 3% සිට 15% දක්වා වැඩි වී ඇත.නිකට අයන සහ අධි ශක්ති උදාසීන පරමාණු, නයිට්‍රජන් අයන, අධි ශක්ති සක්‍රීය පරමාණු සහ ආලේපන කුටියේ සක්‍රීය කණ්ඩායම් වල ඝනත්වය වැඩි වන අතර එය සංයෝග සෑදීමට ප්‍රතික්‍රියාවට හිතකර වේ.ඉහත විවිධ වැඩි දියුණු කරන ලද දිලිසෙන විසර්ජන අයන ආෙල්පන තාක්ෂණයන් ඉහළ ප්ලාස්මා ඝනත්වයකදී ප්රතික්රියා තැන්පත් වීමෙන් TN දෘඩ පටල ස්ථර ලබා ගැනීමට සමත් වී ඇත, නමුත් ඒවා දිලිසෙන විසර්ජන වර්ගයට අයත් වන බැවින්, විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය ප්රමාණවත් තරම් ඉහළ නැත (තවමත් mA/cm2 මට්ටම. ), සහ සමස්ත ප්ලාස්මා ඝනත්වය ප්රමාණවත් තරම් ඉහළ නොවේ, සහ ප්රතික්රියා තැන්පත් සංයෝග ආලේපන ක්රියාවලිය අපහසු වේ.
3. ලක්ෂ්ය වාෂ්පීකරණ ප්රභවයේ ආලේපන පරාසය කුඩා වේ
විවිධ වැඩි දියුණු කරන ලද අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්භ වාෂ්පීකරණ ප්‍රභව භාවිතා කරන අතර gantu ලක්ෂ්ය වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයක් ලෙස භාවිතා කරයි, එය ප්රතික්රියා තැන්පත් කිරීම සඳහා gantu ට ඉහලින් යම් කාල පරතරයකට සීමා වේ, එබැවින් ඵලදායිතාව අඩු වේ, ක්රියාවලිය අපහසු වේ, සහ කාර්මිකකරණයට අපහසු වේ.
4. ඉලෙක්ට්රොනික තුවක්කු අධි පීඩන මෙහෙයුම
ඉලෙක්ට්‍රෝන තුවක්කු වෝල්ටීයතාව 6 ~ 30kV වන අතර, වැඩ ෙකොටස් පක්ෂග්රාහී වෝල්ටීයතාවය 0.5 ~ 3kV වන අතර එය අධි වෝල්ටීයතා ක්‍රියාකාරිත්වයට අයත් වන අතර යම් යම් ආරක්ෂිත උපද්‍රව ඇත.
——මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua Technology, aදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.
පසු කාලය: මැයි-12-2023