දෘඪ ආලේපන තැන්පත් කිරීම සඳහා සාම්ප්රදායික තාක්ෂණික ක්රම හඳුන්වාදීම

1. තාප CVD තාක්ෂණය

දෘඪ ආලේපන බොහෝ විට ලෝහ සෙරමික් ආලේපන (TiN, ආදිය), ආලේපනය සහ ප්රතික්රියාකාරක වායුව තුළ ලෝහයේ ප්රතික්රියාව මගින් සෑදී ඇත.මුලදී, තාප CVD තාක්ෂණය 1000 ℃ ඉහළ උෂ්ණත්වයකදී තාප ශක්තිය මගින් සංයෝජන ප්රතික්රියාවේ සක්රිය ශක්තිය සැපයීම සඳහා භාවිතා කරන ලදී.මෙම උෂ්ණත්වය සුදුසු වන්නේ සිමෙන්ති කාබයිඩ් මෙවලම් මත TiN සහ අනෙකුත් දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීම සඳහා පමණි.මෙතෙක්, සිමෙන්ති කාබයිඩ් මෙවලම් හිස් මත TiN-Al20 සංයුක්ත ආලේපන තැන්පත් කිරීම තවමත් වැදගත් තාක්ෂණයකි.

2. හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය සහ උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය

1980 ගණන්වලදී, හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය සහ උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය ආලේපිත කැපුම් මෙවලම් තැන්පත් කිරීම සඳහා භාවිතා කරන ලදී.මෙම අයන ආලේපන තාක්ෂණය දෙකම චාප විසර්ජන අයන ආලේපන තාක්ෂණයන් වන අතර ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය 20% ~ 40% දක්වා වේ.

3. කැතෝඩ චාප අයන ආලේපනය

කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනය මතුවීම අච්චු මත දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීමේ තාක්ෂණය දියුණු කිරීමට හේතු වී ඇත.කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනයේ අයනීකරණ අනුපාතය 60%~90% වන අතර, ලෝහ අයන සහ ප්‍රතික්‍රියා වායු අයන විශාල සංඛ්‍යාවක් වැඩ කොටසෙහි මතුපිටට ළඟා වීමට ඉඩ සලසන අතර තවමත් ඉහළ ක්‍රියාකාරිත්වයක් පවත්වා ගෙන යන අතර ප්‍රතික්‍රියා තැන්පත් වීම සහ දෘඩ ආලේපන සෑදීම සිදු වේ. TiNවර්තමානයේ, කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපන තාක්ෂණය ප්රධාන වශයෙන් අච්චු මත දෘඩ ආලේපන තැන්පත් කිරීම සඳහා යොදා ගනී.

කැතෝඩ චාප ප්රභවය ස්ථාවර උණු කළ තටාකයකින් තොරව ඝන-රාජ්ය වාෂ්පීකරණ ප්රභවයක් වන අතර, චාප ප්රභවයේ පිහිටීම අත්තනෝමතික ලෙස තැබිය හැකිය, ආලේපන කාමරයේ අවකාශය උපයෝගිතා අනුපාතය වැඩිදියුණු කිරීම සහ උදුන පැටවීමේ ධාරිතාව වැඩි කිරීම.කැතෝඩ චාප ප්‍රභවවල හැඩතලවලට කුඩා වෘත්තාකාර කැතෝඩ චාප ප්‍රභව, තීරු චාප ප්‍රභව සහ සෘජුකෝණාස්‍රාකාර පැතලි විශාල චාප ප්‍රභව ඇතුළත් වේ.කුඩා චාප ප්‍රභවයන්, තීරු චාප ප්‍රභවයන් සහ විශාල චාප ප්‍රභවවල විවිධ සංරචක බහු ස්ථර පටල සහ නැනෝ බහු ස්ථර පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා වෙන වෙනම සකස් කළ හැක.මේ අතර, කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනයේ ඉහළ ලෝහ අයනීකරණ අනුපාතය හේතුවෙන්, ලෝහ අයනවලට වැඩි ප්‍රතික්‍රියා වායු අවශෝෂණය කර ගත හැකි අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස පුළුල් ක්‍රියාවලි පරාසයක් සහ විශිෂ්ට දෘඩ ආලේපන ලබා ගැනීම සඳහා සරල ක්‍රියාකාරිත්වයක් ඇති වේ.කෙසේ වෙතත්, කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනය මගින් ලබාගත් ආලේපන ස්ථරයේ ක්ෂුද්ර ව්යුහය තුළ රළු බිංදු ඇත.මෑත වසරවලදී, චාප අයන ආලේපන චිත්රපටයේ ගුණාත්මක භාවය වැඩිදියුණු කර ඇති චිත්රපට ස්ථරයේ ව්යුහය පිරිපහදු කිරීම සඳහා බොහෝ නව තාක්ෂණයන් මතු වී ඇත.

——මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua Technology, aදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.