ප්ලාස්මා සෘජු බහුඅවයවීකරණ ක්රියාවලිය

ප්ලාස්මා සෘජු බහුඅවයවීකරණ ක්රියාවලිය

ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය කිරීමේ ක්‍රියාවලිය අභ්‍යන්තර ඉලෙක්ට්‍රෝඩ බහුඅවයවීකරණ උපකරණ සහ බාහිර ඉලෙක්ට්‍රෝඩ බහුඅවයවීකරණ උපකරණ යන දෙකටම සාපේක්ෂව සරල ය, නමුත් ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී පරාමිති තේරීම වඩාත් වැදගත් වේ, මන්ද ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී බහු අවයවික පටලවල ව්‍යුහය සහ ක්‍රියාකාරිත්වය කෙරෙහි පරාමිතීන් වැඩි බලපෑමක් ඇති කරන බැවිනි.

සෘජු ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා මෙහෙයුම් පියවර පහත පරිදි වේ:

(1) රික්ත කිරීම

රික්ත තත්වයන් යටතේ බහුඅවයවීකරණයේ පසුබිම් රික්තය 1.3 × 10-1Pa දක්වා පොම්ප කළ යුතුය.ඔක්සිජන් හෝ නයිට්රජන් අන්තර්ගතය පාලනය කිරීම සඳහා විශේෂ අවශ්යතා අවශ්ය වන බහුඅවයවීකරණ ප්රතික්රියා සඳහා, පසුබිම් රික්තක අවශ්යතාවය ඊටත් වඩා වැඩි වේ.

(2) ආරෝපණ ප්‍රතික්‍රියා මොනෝමර් හෝ වාහක වායුවේ සහ මොනෝමරයේ මිශ්‍ර වායුව

රික්ත උපාධිය 13-130Pa වේ.වැඩ අවශ්‍ය වන ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා සුදුසු ප්‍රවාහ පාලන මාදිලිය සහ ප්‍රවාහ අනුපාතය සාමාන්‍යයෙන් 10.100mL/min තෝරාගත යුතුය.ප්ලාස්මා වලදී, මොනෝමර් අණු අයනීකරණය වී ශක්තිජනක අංශු බෝම්බ හෙලීමෙන් විඝටනය වන අතර, එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස අයන සහ ක්‍රියාකාරී ජාන වැනි ක්‍රියාකාරී අංශු ඇතිවේ.ප්ලාස්මා මගින් සක්‍රිය කරන ලද ක්‍රියාකාරී අංශු වායු අවධියේ සහ ඝන අවධියේ අතුරු මුහුණතේ ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයට ලක් විය හැක.මොනෝමරය ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සඳහා පූර්වගාමියා වන අතර ආදාන ප්‍රතික්‍රියා වායුව සහ මොනෝමරය යම් සංශුද්ධතාවයක් තිබිය යුතුය.

(3) උත්තේජක බල සැපයුම තෝරාගැනීම

බහුඅවයවීකරණය සඳහා ප්ලාස්මා පරිසරයක් සැපයීම සඳහා DC, අධි-සංඛ්‍යාත, RF, හෝ මයික්‍රෝවේව් බල ප්‍රභව භාවිතයෙන් ප්ලාස්මා ජනනය කළ හැක.බහුඅවයවයේ ව්යුහය සහ කාර්යසාධනය සඳහා අවශ්යතාවයන් මත පදනම්ව බල සැපයුම තෝරාගැනීම තීරණය කරනු ලැබේ.

(4) විසර්ජන මාදිලිය තෝරා ගැනීම

පොලිමර් අවශ්‍යතා සඳහා, ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයට විසර්ජන ආකාර දෙකක් තෝරා ගත හැකිය: අඛණ්ඩ විසර්ජනය හෝ ස්පන්දන විසර්ජනය.

(5) විසර්ජන පරාමිතීන් තෝරාගැනීම

ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය සිදු කරන විට, විසර්ජන පරාමිතීන් ප්ලාස්මා පරාමිතීන්, පොලිමර් ගුණාංග සහ ව්‍යුහ අවශ්‍යතා වලින් සලකා බැලිය යුතුය.බහුඅවයවීකරණයේදී යොදන බලයේ විශාලත්වය රික්තක කුටීරයේ පරිමාව, ඉලෙක්ට්‍රෝඩ ප්‍රමාණය, මොනමර් ප්‍රවාහ අනුපාතය සහ ව්‍යුහය, බහුඅවයවීකරණ අනුපාතය සහ බහු අවයවික ව්‍යුහය සහ ක්‍රියාකාරිත්වය අනුව තීරණය වේ.උදාහරණයක් ලෙස, ප්‍රතික්‍රියා කුටීර පරිමාව 1L නම් සහ RF ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණය අනුගමනය කරන්නේ නම්, විසර්ජන බලය 10~30W පරාසයක පවතී.එවැනි තත්වයන් යටතේ, ජනනය කරන ලද ප්ලාස්මා වැඩ කොටසෙහි මතුපිට තුනී පටලයක් සෑදීමට එකතු විය හැක.ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණ පටලයේ වර්ධන වේගය බල සැපයුම, මොනෝමර් වර්ගය සහ ප්‍රවාහ අනුපාතය සහ ක්‍රියාවලි තත්වයන් අනුව වෙනස් වේ.සාමාන්‍යයෙන්, වර්ධන වේගය 100nm/min~1um/min වේ.

(6) ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේ පරාමිතිය මැනීම

ප්ලාස්මා බහුඅවයවීකරණයේදී මැනිය යුතු ප්ලාස්මා පරාමිතීන් සහ ක්‍රියාවලි පරාමිතීන්ට ඇතුළත් වන්නේ: විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය, විසර්ජන ධාරාව, ​​විසර්ජන සංඛ්‍යාතය, ඉලෙක්ට්‍රෝන උෂ්ණත්වය, ඝනත්වය, ප්‍රතික්‍රියා කණ්ඩායම් වර්ගය සහ සාන්ද්‍රණය යනාදිය.

——මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua Technology, aදෘශ්ය ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා.