හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය කිරීමේ ක්රියාවලිය

හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය කිරීමේ ක්‍රියාවලිය පහත පරිදි වේ:

1, කඩා වැටීමට චින් ඉන්ගෝට් දමන්න.

2, වැඩ කොටස සවි කිරීම.

3, 5×10-3Pa දක්වා ඉවත් කිරීමෙන් පසු, රිදී නළයෙන් ආගන් වායුව ආෙල්පන කුටියට හඳුන්වා දෙන අතර රික්ත මට්ටම 100Pa පමණ වේ.

4, පක්ෂග්‍රාහී බලය ක්‍රියාත්මක කරන්න.

5, කුහර කැතෝඩ විසර්ජනය දැල්වීම සඳහා චාප බලය සක්‍රිය කිරීමෙන් පසු බොත්තම් නළය තුළ දිලිසෙන විසර්ජනය ජනනය වේ, විසර්ජන වෝල්ටීයතාවය 800~ 1000V වේ, චාප-එසවුම් ධාරාව 30~50A වේ. දීප්තියේ හිස් කැතෝඩ බලපෑම හේතුවෙන්. විසර්ජනය,ඉහළ දිලිසෙන විසර්ජන ධාරා ඝනත්වය,රිදී බටයේ ඇති අධික මී අයන ඝනත්වය වාසි නලයේ බිත්තියට බෝම්බ හෙලයි,ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහ විමෝචනයට නල බිත්තිය ශීඝ්‍රයෙන් උනුසුම් කරන්න, දිලිසෙන විසර්ජනයෙන් විසර්ජන මාදිලිය හදිසියේ වෙනස් වේ චාප විසර්ජනය, වෝල්ටීයතාව 40~70V, ධාරාව 80~300A වේ. රිදී නල උෂ්ණත්වය 2300K ට වඩා වැඩි වේ, තාපදීප්ත, ඉහළ ඝනත්ව චාප ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහයක් නලයෙන් විමෝචනය කරයි, සහ ඇනෝඩයට වෙඩි තබයි.

6, රික්ත මට්ටම ගැලපීම. හිස් කැතෝඩ තුවක්කුවෙන් දිලිසෙන විසර්ජනය සඳහා රික්ත මට්ටම 100 Pa පමණ වේ, සහ ආලේපනයේ රික්ත උපාධිය 8×10-1~ 2Pa වේ. එබැවින්, චාප විසර්ජනය දැල්වීමෙන් පසු, එන ආගන් අඩු කරන්න හැකි ඉක්මනින් ගෑස්, රික්ත මට්ටම ආෙල්පනයට සුදුසු පරාසයකට සකසන්න.

7, ටයිටේනියම් ආලේපිත පාදම ස්ථරය. ඇනෝඩික් ලෙස කඩා වැටුණු චින් ලෝහ ඉන්ගෝටය මතට ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහය, චාලක ශක්තිය තාප ශක්තිය බවට පරිවර්තනය කිරීම, රත් කිරීමෙන් චින් ලෝහ වාෂ්පීකරණය, ටයිටේනියම් පටලයක් සෑදීමට වාෂ්ප පරමාණු වැඩ කොටස වෙත ළඟා වේ.

8, TiN තැන්පත් වීම.නයිට්‍රජන් වායුව ආලේපන කුටියට සපයනු ලැබේ, නයිට්‍රජන් වායුව සහ වාෂ්පීකරණය කරන ලද පරමාණු නයිට්‍රජන් සහ ටයිටේනියම් අයන බවට අයනීකරණය කරනු ලැබේ. ක්‍රූසිබල් වලට ඉහලින්, ටයිටේනියම් වාෂ්ප-ප්‍රවාහ අඩු ඉලෙක්ට්‍රොනික පරමාණුවල අනම්‍ය ඝට්ටනවල වැඩි සම්භාවිතාව. ලෝහ විඝටන අනුපාතය 20%~40% තරම් ඉහළ අගයක් ගනී., ටයිටේනියම් අයන ප්‍රතික්‍රියා වායු නයිට්‍රජන් සමඟ රසායනිකව ප්‍රතික්‍රියා කිරීමට වැඩි ඉඩක් ඇත, නයිට්‍රයිඩ් මැන්ටල් පටල ස්ථරයක් ලබා ගැනීම සඳහා තැන්පත් වීම. කුහර කැතෝඩ තුවක්කුව වාෂ්පීකරණ ප්‍රභවයකි，තවත් ප්‍රභවයකි. අයනීකරණයේ.ආලේපනය අතරතුර, කුරුසය වටා ඇති විද්‍යුත් චුම්භක දඟරයේ ධාරාව ද සකස් කළ යුතුය, කඩාවැටීමේ මධ්‍යයට ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්බය නාභිගත කරන්න, මේ අනුව, ඉලෙක්ට්‍රෝන ප්‍රවාහයේ බල ඝනත්වය වැඩි වේ.

9, බලය අක්‍රිය කරන්න. චිත්‍රපට ඝණකම කලින් තීරණය කළ පටල ඝනකමට ළඟා වූ පසු, චාප බල සැපයුම අක්‍රිය කරන්න, පක්ෂග්‍රාහී බල සැපයුම සහ වායු සැපයුම.