කැතෝඩික් චාප ප්‍රභව අයන ආලේපන ක්රියාවලිය මූලික වශයෙන් අනෙකුත් ආලේපන තාක්ෂණයන් හා සමාන වන අතර, වැඩ කොටස් ස්ථාපනය කිරීම සහ රික්ත කිරීම වැනි සමහර මෙහෙයුම් තවදුරටත් නැවත සිදු නොවේ.
1. වැඩ ෙකොටස් බෝම්බ පිරිසිදු කිරීම
ආලේපනය කිරීමට පෙර, ආගන් වායුව 2 × 10-2Pa රික්තයක් සහිත ආලේපන කුටියට හඳුන්වා දෙනු ලැබේ.
20% ක තීරුබදු චක්‍රයක් සහ 800-1000V වැඩ කොටස් නැඹුරුවක් සමඟ ස්පන්දන නැඹුරු බල සැපයුම ක්‍රියාත්මක කරන්න.
චාප බලය සක්‍රිය කළ විට, සීතල ක්ෂේත්‍ර චාප ආලෝක විසර්ජනයක් ජනනය වන අතර එමඟින් චාප ප්‍රභවයෙන් ඉලෙක්ට්රෝන ධාරාව සහ ටයිටේනියම් අයන ධාරාව විශාල ප්‍රමාණයක් විමෝචනය වන අතර එය අධික ඝනත්ව ප්ලාස්මාවක් සාදයි.ටයිටේනියම් අයනය වැඩ කොටසට යොදන ඍණාත්මක අධි පක්ෂග්රාහී පීඩනය යටතේ වැඩ කොටසට එන්නත් කිරීම වේගවත් කරයි, වැඩ කොටසෙහි මතුපිටට අවශෝෂණය කර ඇති අවශේෂ වායුව සහ දූෂක ද්‍රව්‍ය බෝම්බ හෙලීම සහ ඉසීම සහ වැඩ කොටසෙහි මතුපිට පිරිසිදු කිරීම සහ පිරිසිදු කිරීම;ඒ සමගම, ආලේපන කුටියේ ක්ලෝරීන් වායුව ඉලෙක්ට්රෝන මගින් අයනීකරණය කර ඇති අතර, ආගන් අයන වැඩ ෙකොටස් මතුපිට බෝම්බ හෙලීම වේගවත් කරයි.
එබැවින්, බෝම්බ පිරිසිදු කිරීමේ බලපෑම හොඳයි."ප්‍රධාන චාප බෝම්බ හෙලීම" ලෙස හැඳින්වෙන වැඩ කොටස පිරිසිදු කළ හැක්කේ මිනිත්තු 1 ක බෝම්බ පිරිසිදු කිරීමෙන් පමණි.ටයිටේනියම් අයනවල අධික ස්කන්ධය නිසා, වැඩ කොටස වැඩි වේලාවක් බෝම්බ හෙලීමට සහ පිරිසිදු කිරීමට කුඩා චාප ප්‍රභවයක් භාවිතා කරන්නේ නම්, වැඩ කොටසෙහි උෂ්ණත්වය අධික ලෙස රත් වීමට ඉඩ ඇති අතර මෙවලම් දාරය මෘදු විය හැක.සාමාන්‍ය නිෂ්පාදනයේ දී, කුඩා චාප ප්‍රභව ඉහළ සිට පහළට එකින් එක සක්‍රිය කර ඇති අතර, සෑම කුඩා චාප ප්‍රභවයක් මිනිත්තු 1 ක පමණ බෝම්බ පිරිසිදු කිරීමේ කාලයක් ඇත.
(1) ටයිටේනියම් පහළ ස්ථරය
චිත්‍රපටය සහ උපස්ථරය අතර ඇති ඇලීම වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, ටයිටේනියම් නයිට්‍රයිඩ් ආලේපනය කිරීමට පෙර සාමාන්‍යයෙන් පිරිසිදු ටයිටේනියම් උපස්ථර තට්ටුවක් ආලේප කර ඇත.රික්ත මට්ටම 5×10-2-3×10-1Pa ට සකසන්න, වැඩ කොටස් පක්ෂග්රාහී වෝල්ටීයතාවය 400-500V දක්වා සකසන්න, සහ ස්පන්දන පක්ෂග්රාහී බල සැපයුමේ රාජකාරි චක්‍රය 40%~50% දක්වා සකසන්න.තවමත් සීතල ක්ෂේත්‍ර චාප විසර්ජනය උත්පාදනය කිරීම සඳහා කුඩා චාප මූලාශ්‍ර එකින් එක දැල්වීම.වැඩ කොටසෙහි සෘණ පක්ෂග්රාහී වෝල්ටීයතාවයේ අඩු වීම නිසා, ටයිටේනියම් අයනවල ශක්තිය අඩු වේ.වැඩ කොටස වෙත ළඟා වූ පසු, ස්පුටරින් ආචරණය තැන්පත් කිරීමේ බලපෑමට වඩා අඩු වන අතර, ටයිටේනියම් නයිට්‍රයිඩ් දෘඩ පටල ස්ථරය සහ උපස්ථරය අතර බන්ධන බලය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වැඩ කොටස මත ටයිටේනියම් සංක්‍රාන්ති තට්ටුවක් සාදනු ලැබේ.මෙම ක්රියාවලිය වැඩ කොටස උණුසුම් කිරීමේ ක්රියාවලිය ද වේ.පිරිසිදු ටයිටේනියම් ඉලක්කය විසර්ජනය කරන විට, ප්ලාස්මාවේ ආලෝකය නිල් පැහැති වේ.
1.ඇමෝනියා පාත්‍ර දෘඩ පටල ආලේපනය
රික්ත උපාධිය 3 × 10 ට සකසන්න-1-5Pa, වැඩ ෙකොටස් පක්ෂග්රාහී වෝල්ටීයතාවය 100-200V දක්වා සකසන්න, සහ ස්පන්දන පක්ෂග්රාහී බල සැපයුමේ රාජකාරි චක්‍රය 70%~80% දක්වා සකසන්න.නයිට්‍රජන් හඳුන්වා දීමෙන් පසු, ටයිටේනියම් යනු ටයිටේනියම් නයිට්‍රයිඩ් දෘඩ පටල තැන්පත් කිරීම සඳහා චාප විසර්ජන ප්ලාස්මා සමඟ ඒකාබද්ධ ප්‍රතික්‍රියාවකි.මෙම අවස්ථාවේදී, රික්ත කුටියේ ප්ලාස්මා ආලෝකය චෙරි රතු වේ.සී නම්2H2, ඕ2, ආදිය හඳුන්වා දී ඇත, TiCN, TiO2, ආදිය චිත්රපට ස්ථර ලබා ගත හැක.
-මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua විසින් නිකුත් කරන ලදී, aවැකුම් ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයා
පසු කාලය: ජූනි-01-2023