TiN යනු ඉහළ ශක්තිය, ඉහළ දෘඪතාව සහ ඇඳුම් ප්‍රතිරෝධය වැනි වාසි සහිත කැපුම් මෙවලම් සඳහා භාවිතා කරන ලද මුල්ම දෘඩ ආලේපනයයි.එය පළමු කාර්මිකකරණය වූ සහ බහුලව භාවිතා කරන ලද දෘඩ ආලේපන ද්රව්යය, ආලේපිත මෙවලම් සහ ආලේපිත අච්චු වල බහුලව භාවිතා වේ.TiN දෘඪ ආෙල්පනය තාප CVD තාක්ෂණය මගින් මුලින් 1000 ℃ තැන්පත් කරන ලදී.දැන් එය කැතෝඩික් චාප අයන ආලේපනය, මැග්නට්‍රෝන් ස්පුටරින් ආලේපනය, හිස් කැතෝඩ අයන ආලේපනය, උණුසුම් වයර් චාප අයන ආලේපනය, PECVD සහ වෙනත් තාක්ෂණයන් මගින් 500 ℃ ලබා ගත හැක.මෙම ආෙල්පනය දිගු කාලයක් තිස්සේ භාවිතා කර ඇත මතුපිට දැඩි ලෝහ ද්රව්ය සැකසීම සහ අධිවේගී වානේ සෑදීමේ මෙවලම් සහ අච්චු නිෂ්පාදනය කිරීම.500 ℃ ට TiN තැන්පත් කිරීම අයන ආලේපන තාක්ෂණය භාවිතයෙන් ආලේපිත කැපුම් මෙවලම් තැන්පත් කිරීමට පුරෝගාමී වී ඇත.ඉහළ මට්ටමේ සැකසුම් කර්මාන්ත සංවර්ධනයේ අවශ්‍යතා සපුරාලීම සඳහා විවිධ සංරචක සහිත විවිධ දෘඩ ආලේපන මෙම පදනම මත සංවර්ධනය කර ඇත: නයිට්‍රයිඩ සහ කාබයිඩ් මත පදනම් වූ ද්විමය, ත්‍රිත්ව සහ චතුරස්‍ර සාමාන්ය දෘඪතාව සහිත දෘඩ ආලේපන TiN පදනම මත සංවර්ධනය කර ඇත. , මෙන්ම මෙම දෘඩ ආලේපන මත පදනම් වූ සුපිරි හාඩ් නැනෝ ආලේපන මෙන්ම අතිශය ඉහළ දෘඪතාව සහිත ආවේණික සුපිරි දෘඩ ආලේපන.
දෘඪ ආලේපනවල ප්රධාන කාර්ය සාධන දර්ශකය වන්නේ දෘඪතාවයි.ආෙල්පන දෘඪතාව අනුව, දෘඩ ආෙල්පන වර්ග තුනකට බෙදිය හැකිය: පහත වගුවේ පෙන්වා ඇති පරිදි සාමාන්ය දෘඩ ආලේපන, සුපිරි නැනෝ ආලේපන සහ ආවේණික සුපිරි / අතිශය දෘඩ ආලේපන.
- මෙම ලිපිය Guangdong Zhenhua විසින් නිකුත් කරන ලදී,දෘඪ ආලේපන යන්ත්ර නිෂ්පාදකයෙක්.
පසු කාලය: ජූනි-07-2023