මෙම උපකරණ කැතෝඩ චාප අයන ආලේපන තාක්ෂණය භාවිතා කරන අතර උසස් IET කැටයම් පද්ධතියකින් සමන්විත වේ.ප්රතිකාර කිරීමෙන් පසු, නිෂ්පාදිතය සංක්රාන්ති ස්ථරයකින් තොරව දෘඪ ආලේපනය සෘජුවම තැන්පත් කළ හැකිය.ඒ සමගම, සාම්ප්රදායික චාප තාක්ෂණය ස්ථිර චුම්බක ප්ලස් විද්යුත් චුම්භක දඟර පරිලෝකන තාක්ෂණයට යාවත්කාලීන වේ.මෙම තාක්ෂණයට අයන ශක්තිය ඵලදායී ලෙස වැඩි දියුණු කිරීමට, අයනීකරණ අනුපාතය සහ ඉලක්ක උපයෝගිතා අනුපාතය වැඩි දියුණු කිරීමට, චාප ස්ථාන චලන වේගය වේගවත් කිරීමට, ජල බිඳිති උත්පාදනය ඵලදායී ලෙස වළක්වන, චිත්රපටයේ රළුබව අඩු කිරීමට සහ චිත්රපටයේ ඝර්ෂණ සංගුණකය අඩු කිරීමට හැකිය.විශේෂයෙන් ඇලුමිනියම් ඉලක්කය සඳහා, එය වැඩ කොටසෙහි සේවා කාලය සැලකිය යුතු ලෙස වැඩිදියුණු කළ හැකිය.නවතම සැහැල්ලු 3D සවිකිරීම් වලින් සමන්විත වන අතර, ඒකාකාරිත්වය සහ ස්ථාවරත්වය වඩා හොඳය.
මෙම උපකරණ AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN සහ අනෙකුත් අධි-උෂ්ණත්ව සුපිරි දෘඩ ආලේපනවලින් ආලේප කළ හැකි අතර ඒවා අච්චු, කැපුම් මෙවලම්, පන්ච්, වාහන අමතර කොටස්, ජලනල සහ වෙනත් නිෂ්පාදන සඳහා බහුලව භාවිතා වේ.
1. වැඩිදියුණු කරන ලද ප්ලාස්මා, ශක්තිමත් විද්යුත් චුම්භක භ්රමණය වන ස්කෑනිං චලනය වන සීතල කැතෝඩය, ප්රබල විවර්තනය, ඝන චිත්රපටය.
2. දිගු sputtering දුර, ඉහළ ශක්තිය සහ හොඳ ඇලීම.
3. චාප පහර ඇනෝඩයේ දුර නඩත්තුව සඳහා වසා දැමීමකින් තොරව සකස් කළ හැක.
4. පිරිවැටුම් මාර්ගයේ ව්යුහය සීතල කැතෝඩය ප්රතිස්ථාපනය කිරීමට සහ නඩත්තු කිරීමට පහසු වේ.
5. චාප ස්ථාන පිහිටීම පාලනය කළ හැකි අතර, විවිධ ද්රව්ය අනුව විවිධ චුම්බක ක්ෂේත්ර මාතයන් සකස් කළ හැක.
ආලේපන | ඝනකම (um) | දෘඪතාව (HV) | උපරිම උෂ්ණත්වය (℃) | වර්ණ | අයදුම්පත |
ටා-සී | 1-2.5 | 4000-6000 කි | 400 | කලු | ග්රැෆයිට්, කාබන් ෆයිබර්, සංයුක්ත, ඇලුමිනියම් සහ ඇලුමිනියම් මිශ්ර ලෝහ |
TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | ලෝකඩ | 55-60HRC මල නොබැඳෙන වානේ කැපීම, සිහින් නිමාව |
AlTiN-C | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | නිල් අළු | අඩු දෘඪතාව මල නොබැඳෙන වානේ කැපීම, අච්චුව සෑදීම, අච්චුව මුද්රා කිරීම |
CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | අළු | අධික කැපීම සහ මුද්දර අච්චුව |
CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | අළු | 55-60HRC මල නොබැඳෙන වානේ කැපීම, සිහින් නිමාව, වියළි කැපීම |
HDA0806 | HDA1112 |
φ850*H600(මි.මී.) | φ1100*H1200(මි.මී.) |