Zariadenie využíva vertikálnu štruktúru predných dverí a usporiadanie zoskupení.Môže byť vybavený zdrojmi na odparovanie kovov a rôznych organických materiálov a môže odparovať kremíkové doštičky rôznych špecifikácií.Vybavený presným vyrovnávacím systémom, povlak je stabilný a povlak má dobrú opakovateľnosť.
Náterové zariadenie GX600 dokáže presne, rovnomerne a kontrolovane odparovať organické materiály vyžarujúce svetlo alebo kovové materiály na substrát.Má výhody jednoduchej tvorby filmu, vysokej čistoty a vysokej kompaktnosti.Plne automatický systém monitorovania hrúbky filmu v reálnom čase môže zabezpečiť opakovateľnosť a stabilitu procesu.Je vybavený funkciou samotavenia, aby sa znížila závislosť na zručnostiach operátora.
Zariadenie môže byť aplikované na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti a iné kovové materiály a môže byť potiahnuté kovovým filmom, filmom dielektrickej vrstvy, filmom IMD atď. používa sa hlavne v polovodičoch priemysel, ako sú energetické zariadenia, povlak substrátu zadného obalu polovodičov atď.
GX600 | GX900 |
φ600*800 (mm) | φ900*H1050(mm) |