HFCVD0606

Vákuová nanášacia komora zariadenia na chemické nanášanie pár má nezávislú dvojvrstvovú štruktúru chladenia vodou, ktorá je účinná a rovnomerná pri chladení a má bezpečnú a stabilnú štruktúru.Zariadenie je navrhnuté s dvojitými dverami, viacerými pozorovacími oknami a viacerými rozširujúcimi rozhraniami, čo je vhodné na externé pripojenie pomocných periférií, ako je infračervené meranie teploty, spektrálna analýza, video monitorovanie a termočlánok.Pokročilá koncepcia dizajnu uľahčuje a zjednodušuje každodennú generálnu opravu a údržbu, zmenu konfigurácie a modernizáciu zariadenia a efektívne znižuje náklady na používanie a modernizáciu.

Vlastnosti výbavy:

1. Komponenty nafukovania zariadenia zahŕňajú hlavne hmotnostný prietokomer, solenoidový ventil a nádrž na miešanie plynu, ktoré zabezpečujú presné riadenie prietoku procesného plynu, rovnomerné miešanie a bezpečnú izoláciu rôznych plynov a môžu vybrať komponenty plynového systému na použitie zdroj kvapalného plynu, uľahčujú personalizovaný výber širokej škály zdrojov tekutého uhlíka a bezpečné používanie syntetických vodivých diamantových zdrojov a elektródových zdrojov tekutého bóru.
2. Zostava na odsávanie vzduchu je vybavená tichým a efektívnym rotačným lopatkovým vákuovým čerpadlom a systémom turbomolekulárneho čerpadla, ktoré dokáže rýchlo splniť prostredie vysokého vákua.Na meranie vákua sa používa kompozitný vákuomer s odporomerom a ionizačným tlakomerom, ako aj kapacitný filmový merací systém, ktorý dokáže merať tlak rôznych procesných plynov v širokom rozsahu.Depozičný tlak je plne automaticky riadený vysoko presným proporcionálnym regulačným ventilom.
3. Komponent chladiacej vody je vybavený viackanálovým tlakom vody, prietokom, meraním teploty a softvérovým automatickým monitorovaním.Rôzne chladiace komponenty sú na sebe nezávislé, čo je výhodné pre rýchlu diagnostiku porúch.Všetky vetvy majú nezávislé ventilové spínače, čo je bezpečné a efektívne.
4. Komponenty elektrického riadenia prijímajú veľkorozmernú LCD obrazovku rozhrania človek-stroj a spolupracujú s plne automatickým riadením PLC, aby sa uľahčila úprava a import procesného vzorca.Grafická krivka vizuálne zobrazuje zmeny a hodnoty rôznych parametrov a parametre zariadenia a procesu sa automaticky zaznamenávajú a archivujú, aby sa uľahčilo sledovanie problémov a štatistická analýza údajov.
5. Stojan na obrobky je vybavený servomotorom na ovládanie zdvíhania a spúšťania stola substrátu.Je možné zvoliť grafitový alebo červený medený podkladový stôl.Teplota sa meria termočlánkom.
6. Komponenty regálov môžu byť navrhnuté ako celok alebo samostatne podľa požiadaviek zákazníka, aby vyhovovali špeciálnym požiadavkám zákazníkov na manipuláciu.
7. Komponenty tesniacej dosky sú krásne a elegantné.Tesniace dosky v rôznych funkčných modulových oblastiach zariadenia je možné rýchlo rozobrať alebo otvoriť a zatvoriť nezávisle, čo je veľmi pohodlné na použitie.

CVD zariadenie s horúcim vláknom je vhodné na nanášanie diamantových materiálov, vrátane tenkovrstvového povlaku, samonosného hrubého filmu, mikrokryštalického a nanokryštalického diamantu, vodivého diamantu atď. Používa sa hlavne na ochranný povlak odolný proti opotrebovaniu rezných nástrojov zo slinutých karbidov, polovodičových materiálov ako je kremík a karbid kremíka, povlak zariadení na odvádzanie tepla, vodivá diamantová elektróda dopovaná bórom, dezinfekcia elektrolytickej vody ozónom alebo čistenie odpadových vôd.